Comprehensive microsystems:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam Elsevier ©2008
Schlagworte:
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Provides an overview of the wide range of topics which comprise the microsystems field, including, design and materials, fabrication and packaging, optical systems, chemical and biological systems, physical sensors, actuation, electronics for MEMS and industrial applications
Beschreibung:3 volumes
ISBN:9780444521903
0444521909
9780444521941
0444521941

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