Metrology and diagnostic techniques for nanoelectronics:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Ma, Zhiyong (HerausgeberIn), Seiler, David G. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Singapore Pan Stanford Publishing [2017]
Schlagworte:
Beschreibung:xli, 1411 Seiten Illustrationen, Diagramme 24 cm
ISBN:9814745081
9789814745086

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