Bakshi, V. (2006). EUV sources for lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.613774
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bakshi, Vivek. EUV Sources for Lithography. Bellingham, Wash: SPIE, 2006. https://doi.org/10.1117/3.613774.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Bakshi, Vivek. EUV Sources for Lithography. SPIE, 2006. https://doi.org/10.1117/3.613774.
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