Wong, A. K. (2005). Optical imaging in projection microlithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.612961
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Optical Imaging in Projection Microlithography. Bellingham, Wash: SPIE, 2005. https://doi.org/10.1117/3.612961.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Optical Imaging in Projection Microlithography. SPIE, 2005. https://doi.org/10.1117/3.612961.
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