Levinson, H. J. (1999). Lithography process control. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.322162
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Levinson, Harry J. Lithography Process Control. Bellingham, Wash: SPIE, 1999. https://doi.org/10.1117/3.322162.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Levinson, Harry J. Lithography Process Control. SPIE, 1999. https://doi.org/10.1117/3.322162.
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