Levinson, H. J. (2005). Principles of lithography (2nd edition.). SPIE. https://doi.org/10.1117/3.601520
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography. 2nd edition. Bellingham, Wash: SPIE, 2005. https://doi.org/10.1117/3.601520.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography. 2nd edition. SPIE, 2005. https://doi.org/10.1117/3.601520.
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