Mack, C. A. (2006). Field guide to optical lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.665802
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. Bellingham, Wash: SPIE, 2006. https://doi.org/10.1117/3.665802.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2006. https://doi.org/10.1117/3.665802.
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