MEMS mechanical sensors:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Boston Artech House c2004
Schriftenreihe:Microelectromechanical systems series
Schlagworte:
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:x, 269 p.
ISBN:1580538738
1580535364

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