Kockmann, N. (2013). Micro process engineering: Fundamentals, devices, fabrication, and applications. Wiley-VCH.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Kockmann, Norbert. Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications. Weinheim: Wiley-VCH, 2013.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Kockmann, Norbert. Micro Process Engineering: Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications. Wiley-VCH, 2013.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.