Micro process engineering: fundamentals, devices, fabrication, and applications
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Kockmann, Norbert (HerausgeberIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinheim Wiley-VCH [2013]
Schriftenreihe:Advanced micro & nanosystems 5
Schlagworte:
Online-Zugang:FHD01
Beschreibung:1 Online-Ressource (XXII, 507 Seiten) Illustrationen, Diagramme
ISBN:9783527675050
9783527335008

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