Verfügbarkeit: Multiphysikalische Modellierung und Optimierung von HF-BAW-Komponenten

Multiphysikalische Modellierung und Optimierung von HF-BAW-Komponenten:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Tag, Andreas (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Erlangen FAU University Press 2016
Schriftenreihe:	FAU Forschungen. Reihe B, Medizin, Naturwissenschaft, Technik Band 9
Schlagworte:	Modellierung BAW-Bauelement Nichtlineares Phänomen Multiphysics Eigenerwärmung Temperaturkompensation Akustisches Filter Transceiver Mobiles Endgerät multiphysikalische Modellierung BAW-Filter BAW-Resonatoren akustische Komponente thermische Modellierung SMR-BAW nichtlineares Verhalten Poly-Harmonisches-Distortion-Modell Hochschulschrift
Online-Zugang:	Volltext Volltext Volltext Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	XXVII, 144 Seiten Illustrationen, Diagramme
Format:	Langzeitarchivierung gewährleistet, LZA
ISBN:	9783944057637 9783944057644

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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS DANKSAGUNG IV ABSTRACT V ZUSAMMENFASSUNG VII ABBILDUNGSVERZEICHNIS XVII TABELLENVERZEICHNIS XIX ABKUERZUNGSVERZEICHNIS XXI SYMBOLVERZEICHNIS XXV 1 EINLEITUNG 1 1.1 M OTIVATION........................................................................................... 5 1.2 ZIEL DIESER A R B E IT................................................................................ 5 1.3 AUFBAU DIESER A R B E IT.......................................................................... 6 2 GRUNDLAGEN DER BAW-KOMPONENTEN 9 2.1 AKUSTISCHE WELLEN............................................................................... 9 2.1.1 VOLUMENWELLEN IN HOMOGENEN UND UNENDLICH AUSGEDEHNTEN M EDIEN..................................................................................... 10 2.1.2 VOLUMENWELLEN IN PIEZOELEKTRISCHEN MEDIEN ...................... 13 2.1.3 LAMB-MODEN UND DISPERSION ............................................... 14 2.2 BAW-RESONATOREN................................................................................ 18 2.2.1 VERTIKALES EINFANGEN DER AKUSTISCHEN WELLEN ......................... 21 2.2.2 LATERALES EINFANGEN UND GEBUNDENE M O D E N ......................... 27 2.2.3 UNTERDRUECKUNG VON PARASITAEREN M ODEN ................................. 29 2.2.4 CHARAKTERISIERUNGSMERKMALE VON BAW-RESONATOREN ........... 31 2.3 BAW-FILTER........................................................................................... 35 2.3.1 ENTWURFSVERFAHREN .................................................................. 35 2.3.2 CHARAKTERISIERUNGSMERKMALE VON BAW-FILTERN ................... 36 2.4 MULTIPLEXER........................................................................................... 37 3 ANALYSEMETHODEN 41 3.1 BESTIMMUNG VON SCHICHTDICKEN ....................................................... 41 3.1.1 E LLIPSOM ETRIE........................................................................... 41 3.1.2 PIKOSEKUNDEN-ULTRASCHALL-METHODE....................................... 42 3.2 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG............................................................. 44 3.2.1 ZUFAELLIGE MESSABWEICHUNGEN.................................................. 44 3.2.2 SYSTEMATISCHE MESSABWEICHUNGEN ....................................... 45 3.3 CHARAKTERISIERUNG BEI HOMOGENER ERWAERMUNG ................................. 46 3.3.1 MESSTECHNISCHER AUFBAU.......................................................... 47 3.3.2 ENTWURF GEEIGNETER TESTSTRUKTUREN ......................................... 47 3.4 CHARAKTERISIERUNG DER EIGENERWAERMUNG ......................................... 49 3.4.1 INFRAROTTHERMOGRAFIE................................................................ 49 3.4.2 CHARAKTERISIERUNG UNTER HOHEN LEISTUNGEN............................ 51 3.5 NICHTLINEARE NETZWERKANALYSE .......................................................... 55 3.5.1 POLY-HARMONISCHES-VERZERRUNGS-MODELL .............................. 55 3.5.2 K ALIBRIERM ETHODIK .................................................................. 57 3.5.3 MESSPLATZENTWICKLUNG............................................................. 58 4 TEMPERATURVERHALTEN 61 4.1 MODELLIERUNG DES KLEINSIGNALVERHALTENS ............................................ 62 4.1.1 1D-TRANSFER-MATRIX-METHODE ................................................. 62 4.1.2 ELEKTROMAGNETISCHE 3D-MODELLIERUNG.................................... 64 4.1.3 LINEARER SCHALTUNGSSIMULATOR ................................................. 66 4.2 TEMPERATURABHAENGIGE MODELLIERUNG ................................................. 67 4.2.1 M ETH O D E .................................................................................. 68 4.2.2 VERGLEICH MIT MESSERGEBNISSEN............................................... 68 4.3 BESTIMMUNG DER TEMPERATURKOEFFIZIENTEN....................................... 70 4.3.1 METHODE DER OBERTOENE UND LINEARISIERUNG IM ARBEITSPUNKT 71 4.3.2 VERIFIKATION DER ERARBEITETEN M O D ELLD ATEN ........................... 77 4.4 TEMPERATURKOMPENSATION.................................................................. 78 4.4.1 ERHOEHUNG DES SIUE 2 -A N TEILS .................................................... 78 4.4.2 DREIVIERTEL-WELLENLAENGE-METHODE ......................................... 80 5 MODELLIERUNG UND REDUZIERUNG DER EIGENERWAERMUNG 83 5.1 BESTIMMUNG UND RAEUMLICHE VERTEILUNG VON V ERLU STEN ................... 85 5.1.1 LATERALE AKUSTISCHE VERLUSTE .................................................... 85 5.1.2 ELEKTROMAGNETISCHE V ERLU STE ................................................. 86 5.1.3 VISKOSE VERLUSTE ....................................................................... 87 5.2 THERMISCHE 3D-MODELLIERUNG ............................................................ 89 5.3 BERUECKSICHTIGUNG DER TEMPERATURVERTEILUNG.................................... 90 5.4 VERIFIKATION DURCH SIMULATIONS- UND M ESSERGEBNISSE ...................... 92 5.4.1 RESONATOREN............................................................................. 92 5.4.2 F ILT E R ........................................................................................ 103 5.5 REDUZIERUNG DER EIGENERWAERMUNG .................................................... 107 6 NICHTLINEARES VERHALTEN 111 6.1 POLY-HARMONISCHES-DISTORTION-MODELL EINES RESONATORS................. 112 6.1.1 LEISTUNGSABHAENGIGE S-PARAMETER ......................................... 112 6.1.2 VEKTORIELLE CHARAKTERISIERUNG VON HARM ONISCHEN................. 113 6.1.3 BEZIEHUNGEN ZWISCHEN DEN HARMONISCHEN UNTERSCHIEDLI CHER O RD N U N G ........................................................................... 114 6.2 PARAMETRISIERTE M ODELLIERUNG............................................................. 115 6.2.1 PARAMETRISIERTE MODELLIERUNG DER NICHTLINEARITAETEN .............. 115 6.2.2 AUSWIRKUNGEN DER NICHTLINEARITAETEN AUF DIE RESONANZFRE QUENZ ........................................................................................ 120 6.3 KOMPENSATIONSMETHODEN .................................................................. 121 6.3.1 ERHOEHUNG DER RESONATORFLAECHE............................................... 121 6.3.2 SERIELLES UND ANTI-SERIELLES KASKADIEREN ................................. 122 7 SCHLUSSFOLGERUNGEN UND AUSBLICK 125 LITERATURVERZEICHNIS 128
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