Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung piezoelektrischer Mikrospiegel:
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Norderstedt
BoD - Books on Demand
[2016]
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D
A
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XI
A
BKUERZUNGEN UND S
Y
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B
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LE
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III
1 E
IN
LEITU
N
G
.
1
1.1 A
11
WENDUNGST)EISPIELE. 2
1.1.1 TORSIORISNIODE: KONFOKALES LASEI-SCANNIIIG-MIKROSKOP
.
2
1.1.2 TRANSLATORISCHE MODE:
FOURIER-TRAIISFORMATIONS-INFRAROTSPEKTROMETER. 4
1.2
GLIEDERUNG.
5
2 STAND DER T
ECH
N
IK
.
7
2.1 PZT-GRUIIDLAGEII UND
BAUELEMENTE.7
2-1.1 PIEZOELEKTRISCHE EIGENSCHAFT
.
7
2.1.2 FERROELEKTRISCHE
EIGENSCHAFT.
9
2.1.3
PZT-BAUELEMENTE.
13
2.2 UEBERBLICK UEBER MIKROSPIEGEL
.
14
2.2.1 ELEKTROSTATISCHE MIKROSPIEGEL
.
14
2.2.2 MAGNETISCHE
MIKROSPIEGEL.17
2.2.3 THERMISCHE
MIKROSPIEGEL.19
2.2.4 PIEZOELEKTRISCHE
MIKROSPIEGEL.
21
2.2.5 VERGLEICH DER VERSCHIEDENEN
ALLTRIEBSKONZEPTE.24
3 D
ESIGNENTW
ICK
LU
N
G.27
3.1
LD-SPIEGEL.27
3.1.1 RESONANTE .MIKROSPIEGEL MIT EINFACHEN TORSIONSFEDERII
.
27
3.1.2 RESONANTE MIKROSPIEGEL MIT DOPPELTEN TORSIONSFEDERN
.
42
3.2
2D-SPIEGEL.
46
3.2.1 RESONANTE 2D-MIKROSPIEGEL MIT VIER PZT-AKTUATOREN
.
47
3.2.2 KARDANISCH AUFGEHAENGTE
2D-MIKROSPIEGEL.52
4 F
UNKTIONSPRINZIPIEN DER P
O
SITIO
N
SD
ETEK
TIO
N
.
57
4 1 OPTISCHE YY IYY YY
.
57
4.2 PIEZORESISTIVER
EFFEKT.58
4.2.1 HALBLEITENDE PIEZORESISTIVE
SENSOREN. YYYYYYYY58
4.2.2 METALLISCHE
DEHNUNGSMESSSTREIFEN.60
4.3 KAPAZITIVE
POSITIOIISERFASSURIG.63
4.3.1
KAMMELEKTRODE.63
4.3.2
PLATTEIIELEKTRODE.64
4.4 DIREKTER PIEZOELEKTRISCHER
EFFEKT.
67
4.5
ZUSAMMENFASSUNG.
69
5 H
ERSTELLU
N
G
.
71
5.1 UEBERBLICK UEBER
PZT-ABSDIEIDUNGSTECHNOLOGIERI.71
5.2 HERSTELLUNGSPROZESS DER
PZT-MIKROSPIEGEL.75
5.2.1 MIKROSPIEGEL ILIIT EINER EINHEITLICHEN
POL.Y-SI-SCHICHTDICKE. - .75
5.2.2 MIKROSPIEGEL ILIIT VERSCHIEDENEN
POLY-SI-SCHICHTDICKEN.81
6 C
H
ARAKTERISIERUNG.
87
6.1
MESSAUFBAU.
87
6.2
LD-MIKROSPIEGEL.89
6.2.1 MIKROSPIEGEL MIT EINFACHEN
TORSIONSFEDERN.91
6.2.2 MIKROSPIEGEL MIT DOPPELTEN
TORSIORISFEDERN.101
6.3
2D-MIKROSPIEGEL.
107
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.108
6-3.2 KARDANISCH AUFGEHAENGTE MIKROSPIEGEL
.
114
6.4 IMPLEMENTIERTE
SENSORELEMENTE.118
6.4.1 KAPAZITIVE
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.
12.YYYYYY.YYYYYY(.)
6.4.3 DIREKTER PIEZOELEKTRISCHER
EFFEKT.123
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GEGENUEBERSTELLUNG.127
7 A
BSCHLU
SSB
ETRACH
TUN
G.129
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.
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