Reinhardt, K. A. (2011). Handbook of cleaning in semiconductor manufacturing: Fundamentals and applications. John Wiley & Sons, Inc.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Reinhardt, Karen A. Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications. Salem: John Wiley & Sons, Inc, 2011.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Reinhardt, Karen A. Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications. John Wiley & Sons, Inc, 2011.
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