APA (7th ed.) Citation

Pötschick, P. (2015). Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffartigen Siliziumschichten. TUDpress.

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Pötschick, Pierre. Magnetron-aktivierte Plasmachemische Dampfphasenabscheidung Von Amorphen Und Mikrokristallinen Wasserstoffartigen Siliziumschichten. Dresden: TUDpress, 2015.

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Pötschick, Pierre. Magnetron-aktivierte Plasmachemische Dampfphasenabscheidung Von Amorphen Und Mikrokristallinen Wasserstoffartigen Siliziumschichten. TUDpress, 2015.

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