Strukturierte additive Metallisierung durch kaltaktives Atmosphärendruckplasma: Bericht aus dem Lehrstuhl für Fertigungsautomatisierung und Produktionssystematik Prof. Dr.-Ing. Jörg Franke
Gespeichert in:
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Bamberg
Meisenbach GmbH Verlag
[2015]
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Schriftenreihe: | Fertigungstechnik - Erlangen
273 |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext Volltext Volltext Volltext Inhaltsverzeichnis |
Beschreibung: | II, 160 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm |
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adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG..............................................................................................................
3
2 STAND DER
TECHNIK................................................................................................
5
2.1 THERMISCHES
SPRITZEN......................................................................................6
2.1.1
KALTGASSPRITZEN.......................................................................................
7
2.1.2
FLAMMSPITZEN..........................................................................................
8
2.1.3
LICHTBOGENSPRITZEN..................................................................................8
2.1.4
PLASMASPRITZEN.......................................................................................9
2.2 STRUKTURIERTE METALLISIERUNG MIT
CAPM..........................................................11
2.2.1 PLASMAERZEUGUNG UND ENERGIEUEBERTRAGUNG AUF DAS TRAEGERGAS
..........
11
2.2.2 ENERGIETRANSFER DES TRAEGERGASES AUF DIE PULVERPARTIKEL
.....................
15
2.2.3 ENERGIETRANSFER DER PULVERPARTIKEL AUF DIE SUBSTRATOBERFLAECHE
............
18
2.2.4 PLASMATECHNOLOGIEN FUER DIE ADDITIVE BESCHICHTUNG
.............................
20
2.3 EINFLUSSGROESSEN AUF DEN CAPM-PROZESS
........................................................
23
2.4 EINSATZMOEGLICHKEITEN DER CAPM-TECHNOLOGIE
..............................................
27
2.4.1
MID-TECHNOLOGIE...................................................................................27
2.4.2
LEISTUNGSELEKTRONIK...............................................................................30
2.4.3. HANDLUNGSBEDARF FUER DEN EINSATZ DER CAPM-TECHNO-IOGIE
...............
32
3 ENTWICKLUNG UND UMSETZUNG EINES ANLAGENKONZEPTES
.................................
44
3.1 AUSWAHL EINES GEEIGNETEN HANDHABUNGSSYSTEMS
........................................
45
3.2 KONZEPTION UND UMSETZUNG DER PROZESSZELLE
...............................................
47
3.3 ANLAGENKONZEPT FUER DIE SERIENFERTIGUNG
........................................................
58
4 CHARAKTERISIERUNG UND PROZESSOPTIMIERUNG DER
CAPM.................................62
4.1 THERMOPLASTISCHE
KUNSTSTOFFE........................................................................62
4.2
FASERVERBUNDWERKSTOFFE.................................................................................79
4.2.1 GENERIERUNG VON KUPFERSTRUKTUREN AUF
GFK-SUBSTRATEN......................82
4.2.2 GENERIERUNG VON KUPFERSTRUKTUREN AUF
GFK-SUBSTRATEN......................87
L
4.3 TECHNISCHE
KERAMIK.......................................................................................90
4.3.1 EINFLUSS DER VORWAERMTEMPERATUR AUF DIE
SCHICHTDICKE.........................91
4.3.2 EINFLUSS DER VORWAERMTEMPERATUR AUF DIE
POROSITAET...............................94
4.4
SILIZIUMHALBLEITER............................................................................................
96
4.4.1 EINFLUSS DER PROZESSPARAMETERVARIATION
..............................................
98
4.4.2 FEHLERBILDER DER VOLLFLAECHIGEN WAFERMETALLISIERUNG
.............................
101
4.5 PROZESSMODELL DER CAPM-TECHNOLOGIE
.......................................................
103
5 THERMISCHE SIMULATION DES
CAPM-PROZESSES.............................................107
5.1 MODELLIERUNG DES BESCHICHTUNGSPROZESSES
................................................
109
5.2 PROGRAMMIERUNG DES
MODELLS......................................................................112
5.3 CAPM OHNE
MASKIERUNG..............................................................................115
5.4 CAPM MIT
MASKIERUNG..................................................................................
118
5.5 EVALUIERUNG DER SIMULATIONSERGEBNISSE
......................................................
121
6 ELEKTRISCHE KONTAKTIERUNG DER CAPM-KUPFERSTRUKTUREN
.............................
124
6.1 CHARAKTERISIERUNG DER AVT AUF BASIS EINER KUPFER-CAPM
..........................
126
6.1.1 BESTIMMEN DER HAFTZUGFESTIGKEIT
.......................................................
128
6.1.2 BESTIMMEN DER
SCHERFESTIGKEIT...........................................................131
6.1.3 METALLOGRAPHISCHE UNTERSUCHUNGEN
...................................................
133
6.2 MOEGLICHE PASSIVIERUNG EINER KUPFER-CAPM
................................................
135
7
ZUSAMMENFASSUNG..............................................................................................
139
8.
SUMMARY.............................................................................................................
142
9.
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS.....................................................................................
145
10
LITERATURVERZEICHNIS...........................................................................................
148
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spelling | Schramm, René Verfasser aut Strukturierte additive Metallisierung durch kaltaktives Atmosphärendruckplasma Bericht aus dem Lehrstuhl für Fertigungsautomatisierung und Produktionssystematik Prof. Dr.-Ing. Jörg Franke René Schramm Bamberg Meisenbach GmbH Verlag [2015] © 2015 II, 160 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fertigungstechnik - Erlangen 273 Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2015 Rapid Prototyping Fertigung (DE-588)4389159-7 gnd rswk-swf Plasmaabscheidung (DE-588)7718212-1 gnd rswk-swf Atmosphärendruckplasma (DE-588)7590286-2 gnd rswk-swf Metallisieren (DE-588)4169599-9 gnd rswk-swf Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd rswk-swf Anlagenplanung (DE-588)4002100-2 gnd rswk-swf Kaltes Plasma (DE-588)4248658-0 gnd rswk-swf Prozesssimulation (DE-588)4176077-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Rapid Prototyping Fertigung (DE-588)4389159-7 s Metallisieren (DE-588)4169599-9 s Plasmaabscheidung (DE-588)7718212-1 s Atmosphärendruckplasma (DE-588)7590286-2 s Kaltes Plasma (DE-588)4248658-0 s Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 s Prozesssimulation (DE-588)4176077-3 s Anlagenplanung (DE-588)4002100-2 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe 10.25593/978-3-87525-396-2 urn:nbn:de:bvb:29-opus4-105331 Fertigungstechnik - Erlangen 273 (DE-604)BV035417891 273 https://open.fau.de/handle/openfau/10533 Verlag kostenfrei Volltext https://doi.org/10.25593/978-3-87525-396-2 Resolving-System kostenfrei Volltext https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-105331 Resolving-System kostenfrei Volltext http://d-nb.info/1178794423/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek kostenfrei Volltext DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=028736316&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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