Yu, B. (2016). Design for manufacturability with advanced lithography. Springer International Publishing. https://doi.org/10.1007/978-3-319-20385-0
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Yu, Bei. Design for Manufacturability with Advanced Lithography. Cham: Springer International Publishing, 2016. https://doi.org/10.1007/978-3-319-20385-0.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Yu, Bei. Design for Manufacturability with Advanced Lithography. Springer International Publishing, 2016. https://doi.org/10.1007/978-3-319-20385-0.
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