Cox, D. C. (2015). Introduction to focused ion beam nanometrology (Version: 20151001.). Morgan & Claypool Publishers. https://doi.org/10.1088/978-1-6817-4084-3
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Cox, David C. Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology. Version: 20151001. San Rafael, CA: Morgan & Claypool Publishers, 2015. https://doi.org/10.1088/978-1-6817-4084-3.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Cox, David C. Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology. Version: 20151001. Morgan & Claypool Publishers, 2015. https://doi.org/10.1088/978-1-6817-4084-3.
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