(1997). Microelectromechanical systems: Advanced materials and fabrication methods. National Academy Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Microelectromechanical Systems: Advanced Materials and Fabrication Methods. Washington, DC: National Academy Press, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Microelectromechanical Systems: Advanced Materials and Fabrication Methods. National Academy Press, 1997.
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