Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bhattacharyya, Bijoy (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] Elsevier, William Andrew 2015
Schlagworte:
Beschreibung:XXV, 270 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:9780323327374

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