Submikrometergenauigkeit in der zerspanenden Fertigung:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Apprimus-Verl.
2015
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Ergebnisse aus der Produktionstechnik
2015,10 |
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| Online-Zugang: | Zusätzliche Angaben Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zsfassung in dt. und engl. Sprache |
| Beschreibung: | V, 142 S. Ill., graph. Darst. |
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| adam_text | VERZEICHNISSE I
INHALTSVERZEICHNIS
CONTENT
1 EINLEITUNG 1
2 STAND DER TECHNIK 5
2.1 HYBRIDE MIKROSYSTEME 6
2.2 PASSIVE JUSTAGE 9
2.3 MIKROPRODUKTIONSPROZESSE 14
2.3.1 MIKROEROSION 14
2.3.2 LITHOGRAFIEBASIERTE MIKROPRODUKTIONSPROZESSE 15
2.3.3 MIKROSTRUKTURIERUNG DURCH LASERTECHNIK 16
2.3.4 ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNG 17
2.3.5 ZWISCHENFAZIT - POTENZIALE DER MIKROPRODUKTIONSVERFAHREN ZUR
HERSTELLUNG HOCHPRAEZISER PASSIVER JUSTAGESTRUKTUREN 20
2.4 TECHNIK DER ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNG 21
2.4.1 ULTRAPRAEZISIONSMASCHINEN 22
2.4.2 DIAMANTWERKZEUGE 24
2.4.3 EINRICHTEN VON LINEAREN ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNGSPROZESSEN 27
2.4.4 WISSENSCHAFTLICHE ANSAETZE ZUR OPTIMIERUNG VON
ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNGSPROZESSEN 31
2.4.5 FAZIT ZUM STAND DER TECHNIK 33
3 ZIELSETZUNG, AUFGABENSTELLUNG UND VORGEHENSWEISE 35
4 ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNG IN DER MIKROTECHNIK 37
4.1 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNG DER EIGNUNG ULTRAPRAEZISIONSZERSPANTER
MIKROSTRUKTUREN ZUR PASSIVEN JUSTAGE 38
4.2 ZWEIDIMENSIONALES LICHTWELLENLEITER-ARRAY 44
4.2.1 FERTIGUNG DER TRAEGERPLATTEN DES LICHTWELLENLEITER ARRAYS 45
4.2.2 VERMESSUNG DES LWL-ARRAYS 50
4.2.3 ZUSAMMENFASSUNG DER DEFIZITE BEI DER FERTIGUNG DER TRAEGERPLATTEN
DES LWL-ARRAYS 51
5 EINRICHTEN VON ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNGSPROZESSEN 55
5.1 REFERENZIEREN VON DIAMANTWERKZEUGEN 55
5.1.1 FERTIGEN VON REFERENZWERKSTUECKEN 56
5.1.2 FALLBEISPIEL: FERTIGUNG VON DREISEITIGEN PYRAMIDENSTRUKTUREN 57
5.2 BEIBEHALTEN DER REFERENZ BEIM WERKZEUGWECHSEL 65
5.2.1 EINFLUSS DER FEHLPOSITIONIERUNG DER WERKZEUGSCHNEIDE 65
5.2.2 SUBMIKROMETERGENAUES WERKZEUGWECHSELSYSTEM 71
5.2.3 EINRICHTEN DER KOMPONENTEN DES WERKZEUGWECHSELSYSTEMS 74
5.2.4 ERPROBUNG DES WERKZEUGWECHSELSYSTEMS 77
5.3 SUBMIKROMETERGENAUES REFERENZIEREN VON WERKSTUECKEN 80
6 FERTIGUNG VON STRUKTUREN MIT SUBMIKROMETERGENAUIGKEIT 89
HTTP://D-NB.INFO/1068831006
II
VERZEICHNISSE
6.1 PALETTIERSYSTEM FUER DIE ULTRAPRAEZISIONSZERSPANUNG 89
6.2 AKTIVES WERKSTUECKSPANNSYSTEM 96
6.2.1 ANFORDERUNGEN AN DAS AKTIVE WERKSTUECKSPANNSYSTEM 97
6.2.2 EINRICHTEN DES AKTIVEN WERKSTUECKSPANNSYSTEMS AUF DER
BEARBEITUNGSMASCHINE 103
6.3 SUBMIKROMETERGENAUES REFERENZIEREN VON WERKSTUECKEN 110
6.3.1 STRATEGIE 1: DIREKTES REFERENZIEREN 113
6.3.2 STRATEGIE 2: INDIREKTES REFERENZIEREN 120
7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 131
7.1 ZUSAMMENFASSUNG 131
7.2 AUSBLICK 132
8 LITERATURVERZEICHNIS 138
|
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