A high speed tempering system for MEMS calibration an test:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Dickow, Andreas (VerfasserIn), Waber, Tobias (VerfasserIn), Graf, Klemens 1968- (VerfasserIn), Feiertag, Gregor (VerfasserIn)
Format: Elektronisch Buchkapitel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Online-Zugang:Volltext
Beschreibung:1 Online-Ressource (S. 17-21) Ill., graph. Darst.

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