Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden:
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| Veröffentlicht: |
Wiesbaden
VS Verlag für Sozialwissenschaften
1982
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| Schriftenreihe: | Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Elektrotechnik/Optik
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