APA (7th ed.) Citation

Franz, G. (1994). Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik (Zweite, völlig neubearbeitete Auflage.). Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8

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Franz, Gerhard. Oberflächentechnologie Mit Niederdruckplasmen: Beschichten Und Strukturieren in Der Mikrotechnik. Zweite, völlig neubearbeitete Auflage. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 1994. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8.

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Franz, Gerhard. Oberflächentechnologie Mit Niederdruckplasmen: Beschichten Und Strukturieren in Der Mikrotechnik. Zweite, völlig neubearbeitete Auflage. Springer Berlin Heidelberg, 1994. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8.