Kryo-Vakuumtechnik: Grundlagen und Anwendungen
Gespeichert in:
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| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1981
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Der Kryo-Vakuumtechnik, der Vakuumerzeugung durch Anwendung tiefer Temperaturen, wurde bisher in den vakuumtechnischen Lehrbüchern ein nur bescheidener Raum zugemessen. In den letzten Jahren haben aber die Bedeutung des Kryopumpens und der Stoff dieses Gebietes so stark zugenommen, daß eine eigene, von der konventionellen Vakuumtechnik losgelöste Darstellung erwünscht schien. Die vorliegende Monographie über die physikalischen Grundlagen, die praktischen Ausführungsformen und Anwendungen der Kryo-Vakuumtechnik entstand im Zusammenhang mit einer langjährigen Tätigkeit des Verfassers auf diesem Spezialgebiet in Industrie und Forschung. Bekanntlich wächst der Bedarf an Hochvakuumpumpen ständig, einmal als Folge neuer Anwendungsgebiete, zum anderen wegen der bei vielen Vakuumverfahren erhobenen Forderungen nach einer sauberen, von Kohlenwasserstoffen freien Restgasatmosphäre, einem niedrigen Enddruck und - mit Rücksicht auf eine möglichst kurze Pumpzeit - einem hohen spezifischen (auf die Pumpeneintrittsfläche bezogenen) Saugvermögen. In diesen Eigenschaften sind Kryopumpen allen konventionellen Hochvakuumpumpen überlegen. Die Ausführungsformen der Kryopumpen bieten eine reiche Auswahl: Sie stehen zur Verfügung sowohl als mit flüssigem Helium gekühlte Kühlfallen (Bad-Kryopumpen) als auch als Kryopanel, die kontinuierlich durch einen Heliumstrom, regenerative Refrigeratoren oder Refrigeratoren mit Joule-Thomson-Ventilen oder Expansionsejektoren gekühlt werden. Trotz aller Unterschiede dieser Kühlmethoden besteht eine große Flexibilität hinsichtlich der konstruktiven Gestaltung der pumpenden Kryofläche, die stets an den zu evakuierenden Raum angepaßt werden kann. Auf diese Weise kann das volle Saugvermögen dort wirksam werden, wo es gebraucht wird- selbst an schwer zugänglichen Stellen einer Apparatur |
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