Franz, G. (2004). Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik (Dritte Auflage.). Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Franz, Gerhard. Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik. Dritte Auflage. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2004. https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Franz, Gerhard. Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik. Dritte Auflage. Springer Berlin Heidelberg, 2004. https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8.
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