Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse:
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Wiesbaden
VS Verlag für Sozialwissenschaften
1981
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| Series: | Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Physik/Chemie/Biologie
3049 |
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| Item Description: | Unter den modernen molekularanalytischen Methoden nimmt die Massenspek trometrie wegen ihrer vielfaltigen Anwendungsmoglichkeiten eine herausragende Stellung ein. Sie liefert eine Information Uber die Masse von einzelnen Mole kUlen bzw. von lonen. die aus MolekUlen unter Elektronenentzug oder -aufnahme entstehen und mit hoher Empfindlichkeit nachgewiesen werden konnen. Durch hinreichend genaue Bestimmung der MolekUlmasse. d. h. bei hoher Massenauflo sung. kann die elementare Zusammensetzung des MolekUls ermittelt werden. Je nach lonisierungsbedingungen kann man Informationen Uber die Struktur des MolekUls. seine Stabilitat und die Geschwindigkeit erhalten. mit der lonen zerfallen oder in Reaktionen mit SubstratmolekUlen verbraucht werden. Primare lonisierung von MolekUlen erfolgt meist durch Elektronensto8 [1 J (engl isch: Electron Impact. "EI") in der Gasphase oder durch Einwirkung von inhomogenen elektrischen Feldern an Oberflachen (Feldionisations-. kurz: "FI"-[2] • bzw. Fel ddesorptions-. kurz: "FD"-Methode [3] ). Sekundare lonen entstehen in der Gasphase durch chemische Reaktionen von Primarionen mit neutralen MolekUlen [4] (chemische lonisations-. kurz: "CI"-Methode) oder an Oberflachen. die von Primarionen hoher Energie getroffen werden [5 J (Sekundarionisation. kurz: "SI"-Methode) . Wegen ihrer hohen Spezifitat und Nachweisempfindlichkeit. aber auch wegen der geringen Eindringtiefe der Primarionen. eignet sich die Sekundar ionenmassenspektrometrie ("SIMS") insbesondere zur chemischen Analyse der obersten Atomlagen von Festkorperoberflachen und hat insofern erhebliche praktische Bedeutung bei der Untersuchung von Oberflachenschichten, die durch mechanische Behandlung. Atzen. Aufdampfen oder Korrosion erwUnschte oder unerwUnschte Eigenschaften angenommen haben. Bis vor kurzem war der eigentliche Gegenstand solcher Untersuchungen stets die Festkorperoberflache (Halbleiter |
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