Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wiesbaden
VS Verlag für Sozialwissenschaften
1981
|
| Schriftenreihe: | Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Physik/Chemie/Biologie
3049 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Unter den modernen molekularanalytischen Methoden nimmt die Massenspek trometrie wegen ihrer vielfaltigen Anwendungsmoglichkeiten eine herausragende Stellung ein. Sie liefert eine Information Uber die Masse von einzelnen Mole kUlen bzw. von lonen. die aus MolekUlen unter Elektronenentzug oder -aufnahme entstehen und mit hoher Empfindlichkeit nachgewiesen werden konnen. Durch hinreichend genaue Bestimmung der MolekUlmasse. d. h. bei hoher Massenauflo sung. kann die elementare Zusammensetzung des MolekUls ermittelt werden. Je nach lonisierungsbedingungen kann man Informationen Uber die Struktur des MolekUls. seine Stabilitat und die Geschwindigkeit erhalten. mit der lonen zerfallen oder in Reaktionen mit SubstratmolekUlen verbraucht werden. Primare lonisierung von MolekUlen erfolgt meist durch Elektronensto8 [1 J (engl isch: Electron Impact. "EI") in der Gasphase oder durch Einwirkung von inhomogenen elektrischen Feldern an Oberflachen (Feldionisations-. kurz: "FI"-[2] • bzw. Fel ddesorptions-. kurz: "FD"-Methode [3] ). Sekundare lonen entstehen in der Gasphase durch chemische Reaktionen von Primarionen mit neutralen MolekUlen [4] (chemische lonisations-. kurz: "CI"-Methode) oder an Oberflachen. die von Primarionen hoher Energie getroffen werden [5 J (Sekundarionisation. kurz: "SI"-Methode) . Wegen ihrer hohen Spezifitat und Nachweisempfindlichkeit. aber auch wegen der geringen Eindringtiefe der Primarionen. eignet sich die Sekundar ionenmassenspektrometrie ("SIMS") insbesondere zur chemischen Analyse der obersten Atomlagen von Festkorperoberflachen und hat insofern erhebliche praktische Bedeutung bei der Untersuchung von Oberflachenschichten, die durch mechanische Behandlung. Atzen. Aufdampfen oder Korrosion erwUnschte oder unerwUnschte Eigenschaften angenommen haben. Bis vor kurzem war der eigentliche Gegenstand solcher Untersuchungen stets die Festkorperoberflache (Halbleiter |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (23S.) |
| ISBN: | 9783322875280 9783531030494 |
| DOI: | 10.1007/978-3-322-87528-0 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nmm a2200000zcb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042444114 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | cr|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 150324s1981 |||| o||u| ||||||ger d | ||
| 020 | |a 9783322875280 |c Online |9 978-3-322-87528-0 | ||
| 020 | |a 9783531030494 |c Print |9 978-3-531-03049-4 | ||
| 024 | 7 | |a 10.1007/978-3-322-87528-0 |2 doi | |
| 035 | |a (OCoLC)864074080 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV042444114 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e aacr | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-92 |a DE-706 | ||
| 082 | 0 | |a 50 |2 23 | |
| 084 | |a NAT 000 |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Bünau, Günther |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse |c von Günther Bünau, Klaus-Dieter Klöppel |
| 264 | 1 | |a Wiesbaden |b VS Verlag für Sozialwissenschaften |c 1981 | |
| 300 | |a 1 Online-Ressource (23S.) | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Physik/Chemie/Biologie |v 3049 | |
| 500 | |a Unter den modernen molekularanalytischen Methoden nimmt die Massenspek trometrie wegen ihrer vielfaltigen Anwendungsmoglichkeiten eine herausragende Stellung ein. Sie liefert eine Information Uber die Masse von einzelnen Mole kUlen bzw. von lonen. die aus MolekUlen unter Elektronenentzug oder -aufnahme entstehen und mit hoher Empfindlichkeit nachgewiesen werden konnen. Durch hinreichend genaue Bestimmung der MolekUlmasse. d. h. bei hoher Massenauflo sung. kann die elementare Zusammensetzung des MolekUls ermittelt werden. Je nach lonisierungsbedingungen kann man Informationen Uber die Struktur des MolekUls. seine Stabilitat und die Geschwindigkeit erhalten. mit der lonen zerfallen oder in Reaktionen mit SubstratmolekUlen verbraucht werden. Primare lonisierung von MolekUlen erfolgt meist durch Elektronensto8 [1 J (engl isch: Electron Impact. "EI") in der Gasphase oder durch Einwirkung von inhomogenen elektrischen Feldern an Oberflachen (Feldionisations-. kurz: "FI"-[2] • bzw. Fel ddesorptions-. kurz: "FD"-Methode [3] ). Sekundare lonen entstehen in der Gasphase durch chemische Reaktionen von Primarionen mit neutralen MolekUlen [4] (chemische lonisations-. kurz: "CI"-Methode) oder an Oberflachen. die von Primarionen hoher Energie getroffen werden [5 J (Sekundarionisation. kurz: "SI"-Methode) . Wegen ihrer hohen Spezifitat und Nachweisempfindlichkeit. aber auch wegen der geringen Eindringtiefe der Primarionen. eignet sich die Sekundar ionenmassenspektrometrie ("SIMS") insbesondere zur chemischen Analyse der obersten Atomlagen von Festkorperoberflachen und hat insofern erhebliche praktische Bedeutung bei der Untersuchung von Oberflachenschichten, die durch mechanische Behandlung. Atzen. Aufdampfen oder Korrosion erwUnschte oder unerwUnschte Eigenschaften angenommen haben. Bis vor kurzem war der eigentliche Gegenstand solcher Untersuchungen stets die Festkorperoberflache (Halbleiter | ||
| 650 | 4 | |a Science (General) | |
| 650 | 4 | |a Science, general | |
| 650 | 4 | |a Naturwissenschaft | |
| 650 | 0 | 7 | |a Sekundärionen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4077346-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Oberflächenanalyse |0 (DE-588)4172243-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Sekundärionen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4077346-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Oberflächenanalyse |0 (DE-588)4172243-7 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Klöppel, Klaus-Dieter |e Sonstige |4 oth | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.1007/978-3-322-87528-0 |x Verlag |3 Volltext |
| 912 | |a ZDB-2-SNA |a ZDB-2-BAD | ||
| 940 | 1 | |q ZDB-2-SNA_Archive | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027879360 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804153138798657536 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Bünau, Günther |
| author_facet | Bünau, Günther |
| author_role | aut |
| author_sort | Bünau, Günther |
| author_variant | g b gb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042444114 |
| classification_tum | NAT 000 |
| collection | ZDB-2-SNA ZDB-2-BAD |
| ctrlnum | (OCoLC)864074080 (DE-599)BVBBV042444114 |
| dewey-full | 50 |
| dewey-hundreds | 000 - Computer science, information, general works |
| dewey-ones | 050 - General serial publications |
| dewey-raw | 50 |
| dewey-search | 50 |
| dewey-sort | 250 |
| dewey-tens | 050 - General serial publications |
| discipline | Allgemeine Naturwissenschaft |
| doi_str_mv | 10.1007/978-3-322-87528-0 |
| format | Electronic eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>03771nmm a2200481zcb4500</leader><controlfield tag="001">BV042444114</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">150324s1981 |||| o||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783322875280</subfield><subfield code="c">Online</subfield><subfield code="9">978-3-322-87528-0</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783531030494</subfield><subfield code="c">Print</subfield><subfield code="9">978-3-531-03049-4</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">10.1007/978-3-322-87528-0</subfield><subfield code="2">doi</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)864074080</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042444114</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">aacr</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">50</subfield><subfield code="2">23</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">NAT 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bünau, Günther</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse</subfield><subfield code="c">von Günther Bünau, Klaus-Dieter Klöppel</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wiesbaden</subfield><subfield code="b">VS Verlag für Sozialwissenschaften</subfield><subfield code="c">1981</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource (23S.)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Physik/Chemie/Biologie</subfield><subfield code="v">3049</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Unter den modernen molekularanalytischen Methoden nimmt die Massenspek trometrie wegen ihrer vielfaltigen Anwendungsmoglichkeiten eine herausragende Stellung ein. Sie liefert eine Information Uber die Masse von einzelnen Mole kUlen bzw. von lonen. die aus MolekUlen unter Elektronenentzug oder -aufnahme entstehen und mit hoher Empfindlichkeit nachgewiesen werden konnen. Durch hinreichend genaue Bestimmung der MolekUlmasse. d. h. bei hoher Massenauflo sung. kann die elementare Zusammensetzung des MolekUls ermittelt werden. Je nach lonisierungsbedingungen kann man Informationen Uber die Struktur des MolekUls. seine Stabilitat und die Geschwindigkeit erhalten. mit der lonen zerfallen oder in Reaktionen mit SubstratmolekUlen verbraucht werden. Primare lonisierung von MolekUlen erfolgt meist durch Elektronensto8 [1 J (engl isch: Electron Impact. "EI") in der Gasphase oder durch Einwirkung von inhomogenen elektrischen Feldern an Oberflachen (Feldionisations-. kurz: "FI"-[2] • bzw. Fel ddesorptions-. kurz: "FD"-Methode [3] ). Sekundare lonen entstehen in der Gasphase durch chemische Reaktionen von Primarionen mit neutralen MolekUlen [4] (chemische lonisations-. kurz: "CI"-Methode) oder an Oberflachen. die von Primarionen hoher Energie getroffen werden [5 J (Sekundarionisation. kurz: "SI"-Methode) . Wegen ihrer hohen Spezifitat und Nachweisempfindlichkeit. aber auch wegen der geringen Eindringtiefe der Primarionen. eignet sich die Sekundar ionenmassenspektrometrie ("SIMS") insbesondere zur chemischen Analyse der obersten Atomlagen von Festkorperoberflachen und hat insofern erhebliche praktische Bedeutung bei der Untersuchung von Oberflachenschichten, die durch mechanische Behandlung. Atzen. Aufdampfen oder Korrosion erwUnschte oder unerwUnschte Eigenschaften angenommen haben. Bis vor kurzem war der eigentliche Gegenstand solcher Untersuchungen stets die Festkorperoberflache (Halbleiter</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Science (General)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Science, general</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Naturwissenschaft</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sekundärionen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077346-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oberflächenanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172243-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Sekundärionen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077346-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Oberflächenanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4172243-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Klöppel, Klaus-Dieter</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-322-87528-0</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-2-SNA</subfield><subfield code="a">ZDB-2-BAD</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-SNA_Archive</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027879360</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV042444114 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T01:21:51Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783322875280 9783531030494 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027879360 |
| oclc_num | 864074080 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-706 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-706 |
| physical | 1 Online-Ressource (23S.) |
| psigel | ZDB-2-SNA ZDB-2-BAD ZDB-2-SNA_Archive |
| publishDate | 1981 |
| publishDateSearch | 1981 |
| publishDateSort | 1981 |
| publisher | VS Verlag für Sozialwissenschaften |
| record_format | marc |
| series2 | Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Physik/Chemie/Biologie |
| spelling | Bünau, Günther Verfasser aut Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse von Günther Bünau, Klaus-Dieter Klöppel Wiesbaden VS Verlag für Sozialwissenschaften 1981 1 Online-Ressource (23S.) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Forschungsbericht des Landes Nordrhein-Westfalen, Fachgruppe Physik/Chemie/Biologie 3049 Unter den modernen molekularanalytischen Methoden nimmt die Massenspek trometrie wegen ihrer vielfaltigen Anwendungsmoglichkeiten eine herausragende Stellung ein. Sie liefert eine Information Uber die Masse von einzelnen Mole kUlen bzw. von lonen. die aus MolekUlen unter Elektronenentzug oder -aufnahme entstehen und mit hoher Empfindlichkeit nachgewiesen werden konnen. Durch hinreichend genaue Bestimmung der MolekUlmasse. d. h. bei hoher Massenauflo sung. kann die elementare Zusammensetzung des MolekUls ermittelt werden. Je nach lonisierungsbedingungen kann man Informationen Uber die Struktur des MolekUls. seine Stabilitat und die Geschwindigkeit erhalten. mit der lonen zerfallen oder in Reaktionen mit SubstratmolekUlen verbraucht werden. Primare lonisierung von MolekUlen erfolgt meist durch Elektronensto8 [1 J (engl isch: Electron Impact. "EI") in der Gasphase oder durch Einwirkung von inhomogenen elektrischen Feldern an Oberflachen (Feldionisations-. kurz: "FI"-[2] • bzw. Fel ddesorptions-. kurz: "FD"-Methode [3] ). Sekundare lonen entstehen in der Gasphase durch chemische Reaktionen von Primarionen mit neutralen MolekUlen [4] (chemische lonisations-. kurz: "CI"-Methode) oder an Oberflachen. die von Primarionen hoher Energie getroffen werden [5 J (Sekundarionisation. kurz: "SI"-Methode) . Wegen ihrer hohen Spezifitat und Nachweisempfindlichkeit. aber auch wegen der geringen Eindringtiefe der Primarionen. eignet sich die Sekundar ionenmassenspektrometrie ("SIMS") insbesondere zur chemischen Analyse der obersten Atomlagen von Festkorperoberflachen und hat insofern erhebliche praktische Bedeutung bei der Untersuchung von Oberflachenschichten, die durch mechanische Behandlung. Atzen. Aufdampfen oder Korrosion erwUnschte oder unerwUnschte Eigenschaften angenommen haben. Bis vor kurzem war der eigentliche Gegenstand solcher Untersuchungen stets die Festkorperoberflache (Halbleiter Science (General) Science, general Naturwissenschaft Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd rswk-swf Oberflächenanalyse (DE-588)4172243-7 gnd rswk-swf Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 s Oberflächenanalyse (DE-588)4172243-7 s 1\p DE-604 Klöppel, Klaus-Dieter Sonstige oth https://doi.org/10.1007/978-3-322-87528-0 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Bünau, Günther Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse Science (General) Science, general Naturwissenschaft Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd Oberflächenanalyse (DE-588)4172243-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077346-2 (DE-588)4172243-7 |
| title | Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse |
| title_auth | Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse |
| title_exact_search | Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse |
| title_full | Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse von Günther Bünau, Klaus-Dieter Klöppel |
| title_fullStr | Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse von Günther Bünau, Klaus-Dieter Klöppel |
| title_full_unstemmed | Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse von Günther Bünau, Klaus-Dieter Klöppel |
| title_short | Anwendungen der hochauflösenden Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) in der Oberflächenanalyse |
| title_sort | anwendungen der hochauflosenden sekundarionenmassenspektrometrie sims in der oberflachenanalyse |
| topic | Science (General) Science, general Naturwissenschaft Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd Oberflächenanalyse (DE-588)4172243-7 gnd |
| topic_facet | Science (General) Science, general Naturwissenschaft Sekundärionen-Massenspektrometrie Oberflächenanalyse |
| url | https://doi.org/10.1007/978-3-322-87528-0 |
| work_keys_str_mv | AT bunaugunther anwendungenderhochauflosendensekundarionenmassenspektrometriesimsinderoberflachenanalyse AT kloppelklausdieter anwendungenderhochauflosendensekundarionenmassenspektrometriesimsinderoberflachenanalyse |