Entwicklung und Untersuchungen zur 3-D-Nanopositioniertechnik in großen Bewegungsbereichen:
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| Veröffentlicht: |
Ilmenau
Univ.-Verl. Ilmenau
2015
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XI
INHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGEN UND FORMELZEICHEN XV
1 EINLEITUNG UND UEBERBLICK 1
2 STAND DER TECHNIK 5
2.1 NANOPOSITIONIER-UND NANOMESSMASCHINEN 5
2.1.1 NPMM MIT BEWEGTEM MESSOBJEKT 7
2.1.2 NPMM MIT KOMBINIERTER BEWEGUNG VON MESSOBJEKT
UND ANTASTSYSTEM 10
2.1.3 NPMM MIT BEWEGTEM ANTASTSYSTEM 15
2.2 NANOPOSITIONIER-UND NANOMESSMASCHINE NMM-1 17
2.3 ENTWICKLUNGSZIELE 19
3 NPMM-200 21
3.1 METROLOGISCHES KONZEPT 21
3.2 MECHANISCHER UND OPTISCHER GRUNDAUFBAU 24
3.2.1 GERAETEBASIS UND METROLOGISCHER RAHMEN 25
3.2.2 SPIEGELPLATTE 26
3.3 LAENGENMESSSYSTEME 31
3.3.1 UEBERBLICK ZU DEN LAENGENMESSSYSTEMEN 31
3.3.2 X- UND Y-INTERFEROMETER 33
3.3.3 Z-INTERFEROMETER 36
3.4 WINKELMESSSYSTEME 38
3.4.1 AUTOKOLLIMATOREN 38
3.4.2 INTERFEROMETRISCHE WINKELMESSUNG 43
3.5 INFORMATIONS- UND SIGNALVERARBEITUNG 44
3.6 REGELUNGSSYSTEM 49
3.7 STEUERUNGS- UND BEDIENERKONZEPT . '. 53
3.8 MESSUMGEBUNG 55
3.8.1 VAKUUMKAMMER, TEMPERIERUNG UND SCHALLISOLATION . 55
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XII
3.8.2 SCHWINGUNGSISOLATION 60
3.8.3 BEOBACHTUNGSKAMERASYSTEM 66
3.9 KAPITELZUSAMMENFASSUNG 66
4 POSITIONIERSYSTEM 67
4.1 KINEMATIKKONZEPTE 69
4.2 FUEHRUNGSSYSTEM 71
4.2.1 UEBERBLICK ZU FUEHRUNGEN 71
4.2.1.1 GLEITFUEHRUNGEN 71
4.2.1.2 WAELZFUEHRUNGEN 73
4.2.1.3 FEDERGELENKFUEHRUNGEN 74
4.2.1.4 MAGNETISCHE FUEHRUNGEN 75
4.2.2 REALISIERUNG IN DER NPMM-200 76
4.2.2.1 LATERALE BEWEGUNGSACHSEN 77
4.2.2.2 VERTIKALE BEWEGUNGSACHSE 82
4.3 ANTRIEBSSYSTEM 82
4.3.1 KONZEPTE FUER ANTRIEBSSYSTEME IN DER NANOPOSITIO-
NIERTECHNIK 83
4.3.2 UEBERBLICK ZU LINEARANTRIEBEN 84
4.3.2.1 ELEKTROMAGNETISCHE AKTOREN, BASIEREND
AUF LORENTZKRAFT 84
4.3.2.2 ELEKTROMAGNETISCHE AKTOREN, BASIEREND
AUF RELUKTANZKRAFT 86
4.3.2.3 PIEZOELEKTRISCHE AKTOREN 86
4.3.3 REALISIERUNG IN DER NPMM-200 87
4.3.3.1 ANTRIEBE FUER DIE LATERALE BEWEGUNG . 87
4.3.3.2 ANTRIEBE FUER DIE VERTIKALE BEWEGUNG . 93
4.3.4 UNTERSUCHUNG DER TEMPERIERUNG 94
4.4 GEWICHTSKRAFTKOMPENSATION 97
4.5 ENDLAGENSCHALTER 105
4.5.1 SCHALTENDE TASTER 105
4.5.2 BERUEHRUNGSLOSE SENSOREN 106
4.5.3 REALISIERUNG IN DER NPMM-200 108
4.6 KAPITELZUSAMMENFASSUNG 111
5 NULLPUNKTSENSOREN 113
XIII
5.1 UEBERSICHT ZU MOEGLICHEN SENSORPRINZIPIEN 114
5.1.1 LICHTSCHRANKENPRINZIP 114
5.1.2 ULTRASCHALL 116
5.1.3 FOKUSVERFAHREN 117
5.1.4 KONFOKALES MESSPRINZIP 118
5.2 UNTERSUCHUNG DER MESSTECHNISCHEN EIGENSCHAFTEN 121
5.3 KAPITELZUSAMMENFASSUNG 126
6 ANALYSE DER POSITIONIEREIGENSCHAFTEN 127
6.1 POSITIONS-UND WINKELRAUSCHEN 127
6.1.1 STATISCHER ZUSTAND 128
6.1.2 DYNAMISCHER ZUSTAND 130
6.2 POSITIONSAUFLOESUNG 134
6.3 POSITIONIERREPRODUZIERBARKEIT 136
6.4 POSITIONIER-UND MESSDYNAMIK 138
6.4.1 SCHNELLE GROSSSTELLBEWEGUNGEN 139
6.4.2 LANGSAME BEWEGUNGEN 144
6.4.3 KREISBEWEGUNG 147
6.5 REPRODUZIERBARKEIT DER ZENTRIERPOSITION 152
6.6 KAPITELZUSAMMENFASSUNG 154
7 ANTAST-UND BEARBEITUNGSSYSTEME 155
7.1 FOKUSSENSOR 155
7.2 TASTSCHNITTSENSOR 157
7.3 MIKROGREIFER 159
7.4 KAPITELZUSAMMENFASSUNG 160
8 METROLOGISCHER NACHWEIS 161
8.1 REPRODUZIERBARKEIT BEI PUNKTANTASTUNG 161
8.2 STUFENHOEHENMESSUNGEN IM MIKROMETERBEREICH 165
8.3 STUFENHOEHENMESSUNGEN IM MILLIMETERBEREICH 168
8.4 DRIFT IM METROLOGISCHEN KREIS 169
8.5 KAPITELZUSAMMENFASSUNG 171
9 ANWENDUNGSBEISPIELE DER NPMM-200 173
9.1 OBERFLAECHENMESSUNG EBENER SPIEGEL 173
9.2 OBERFLAECHENMESSUNG KONKAVER SPIEGEL 175
XIV
9.3 KAPITELZUSAMMENFASSUNG 177
10 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 179
A ELEKTRONIKSCHRANK DER NPMM-200 187
B ELEKTRISCHE SCHNITTSTELLENKONFIGURATION DES DAS 189
C THERMISCHE AUSDEHNUNGSKETTEN 191
D MESSDATEN DER SPIEGELPLATTE 195
LITERATURVERZEICHNIS 197 |
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| title_sort | entwicklung und untersuchungen zur 3 d nanopositioniertechnik in großen bewegungsbereichen |
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| topic_facet | Geräteentwicklung Nanometerbereich Messmaschine Dimension 3 Positionierantrieb Hochschulschrift |
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Beschreibung