APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (1996). Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3

Chicago Style (17th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 1996. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3.

MLA (9th ed.) Citation

Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag, 1996. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3.