Hilleringmann, U. (1996). Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 1996. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. Vieweg+Teubner Verlag, 1996. https://doi.org/10.1007/978-3-663-05853-3.
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