(1993). Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik. Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Technologien Für Mikrosysteme: Stand Und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 1993. https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Technologien Für Mikrosysteme: Stand Und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik. Springer Berlin Heidelberg, 1993. https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6.
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