Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik
Gespeichert in:
| Format: | Elektronisch E-Book |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1993
|
| Schriftenreihe: | VDI-Buch
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Der Trend zur Verkleinerung technischer Produkte hält nun schon seit vielen Jahren an - der Weg von den Großrechnern früherer Tage über Tischrechner bis zu den Notebooks und Palmtops von heute, der Fernseher im Streichholzschachtelformat und CD-Plattenspieler, die bequem in Rock- und Hosentaschen Platz finden, sind nur einige Beispiele für diese Entwicklung. Zur Realisierung dieser Produkte mußten mechanische Komponenten wie Steckverbindungen oder Antriebe, optische und optoelektronische Kompo nenten wie Linsen oder Laser genauso miniaturisiert werden wie die mikroelektronischen Bauelemente. Die Integration solcher Komponenten zu einem System verlangte darüberhinaus nach ganz neuen Wegen in der Fertigungstechnik. Der gesamte Entwicklungsprozeß war nicht nur mit Investitionen in neuartige Maschinen und Anlagen verbunden, sondern auch mit einer ständigen Weiterbildung der Mitarbeiter. Der Trend zur Miniaturisierung ist bis heute ungebrochen und greift längst über die augenfälligen Beispiele der genannten Art hinaus. Von der Autoelektronik bis zur minimal-invasiven Chirurgie, von der Sicher heitstechnik in Gebäuden bis zum Hörgerät - miniaturisierte technische Geräte sind dabei, alte Probleme besser zu lösen oder bisher unlösbare lösbar zu machen. Besondere Beachtung werden dabei in Zukunft die viel faltigen Möglichkeiten zur Material- und Energieeinsparung finden |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (XVII, 222 S.) |
| ISBN: | 9783662305126 9783540622284 |
| DOI: | 10.1007/978-3-662-30512-6 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nmm a2200000zc 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042436995 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20240226 | ||
| 007 | cr|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 150320s1993 |||| o||u| ||||||ger d | ||
| 020 | |a 9783662305126 |c Online |9 978-3-662-30512-6 | ||
| 020 | |a 9783540622284 |c Print |9 978-3-540-62228-4 | ||
| 024 | 7 | |a 10.1007/978-3-662-30512-6 |2 doi | |
| 035 | |a (OCoLC)907404998 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV042436995 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e aacr | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-92 |a DE-573 |a DE-706 |a DE-860 |a DE-1046 |a DE-Aug4 | ||
| 082 | 0 | |a 620.11 |2 23 | |
| 084 | |a DAT 000 |2 stub | ||
| 084 | |a TEC 000 |2 stub | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Technologien für Mikrosysteme |b Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik |c herausgegeben von Magdala Gronau, Joachim Hafkesbrink, Michael Krause, Wilfried Mokwa, Matthias Rospert |
| 264 | 1 | |a Berlin, Heidelberg |b Springer Berlin Heidelberg |c 1993 | |
| 300 | |a 1 Online-Ressource (XVII, 222 S.) | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a VDI-Buch | |
| 500 | |a Der Trend zur Verkleinerung technischer Produkte hält nun schon seit vielen Jahren an - der Weg von den Großrechnern früherer Tage über Tischrechner bis zu den Notebooks und Palmtops von heute, der Fernseher im Streichholzschachtelformat und CD-Plattenspieler, die bequem in Rock- und Hosentaschen Platz finden, sind nur einige Beispiele für diese Entwicklung. Zur Realisierung dieser Produkte mußten mechanische Komponenten wie Steckverbindungen oder Antriebe, optische und optoelektronische Kompo nenten wie Linsen oder Laser genauso miniaturisiert werden wie die mikroelektronischen Bauelemente. Die Integration solcher Komponenten zu einem System verlangte darüberhinaus nach ganz neuen Wegen in der Fertigungstechnik. Der gesamte Entwicklungsprozeß war nicht nur mit Investitionen in neuartige Maschinen und Anlagen verbunden, sondern auch mit einer ständigen Weiterbildung der Mitarbeiter. Der Trend zur Miniaturisierung ist bis heute ungebrochen und greift längst über die augenfälligen Beispiele der genannten Art hinaus. Von der Autoelektronik bis zur minimal-invasiven Chirurgie, von der Sicher heitstechnik in Gebäuden bis zum Hörgerät - miniaturisierte technische Geräte sind dabei, alte Probleme besser zu lösen oder bisher unlösbare lösbar zu machen. Besondere Beachtung werden dabei in Zukunft die viel faltigen Möglichkeiten zur Material- und Energieeinsparung finden | ||
| 650 | 4 | |a Surfaces (Physics) | |
| 650 | 4 | |a Materials Science | |
| 650 | 4 | |a Characterization and Evaluation of Materials | |
| 650 | 0 | 7 | |a Forschung und Entwicklung |0 (DE-588)4017897-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Forschung und Entwicklung |0 (DE-588)4017897-3 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Gronau, Magdala |e Sonstige |4 oth | |
| 700 | 1 | |a Hafkesbrink, Joachim |d 1958- |e Sonstige |0 (DE-588)170534855 |4 oth | |
| 700 | 1 | |a Krause, Michael |e Sonstige |4 oth | |
| 700 | 1 | |a Mokwa, Wilfried |e Sonstige |4 oth | |
| 700 | 1 | |a Rospert, Matthias |e Sonstige |4 oth | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6 |x Verlag |3 Volltext |
| 912 | |a ZDB-2-STI |a ZDB-2-BAD | ||
| 940 | 1 | |q ZDB-2-STI_Archive | |
| 940 | 1 | |q ZDB-2-STI_1990/1999 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027872325 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804153125660000256 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author_GND | (DE-588)170534855 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042436995 |
| classification_tum | DAT 000 TEC 000 |
| collection | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD |
| ctrlnum | (OCoLC)907404998 (DE-599)BVBBV042436995 |
| dewey-full | 620.11 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 620 - Engineering and allied operations |
| dewey-raw | 620.11 |
| dewey-search | 620.11 |
| dewey-sort | 3620.11 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Technik Technik Informatik |
| doi_str_mv | 10.1007/978-3-662-30512-6 |
| format | Electronic eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>03797nmm a2200589zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV042436995</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20240226 </controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">150320s1993 |||| o||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783662305126</subfield><subfield code="c">Online</subfield><subfield code="9">978-3-662-30512-6</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783540622284</subfield><subfield code="c">Print</subfield><subfield code="9">978-3-540-62228-4</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">10.1007/978-3-662-30512-6</subfield><subfield code="2">doi</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)907404998</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042436995</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">aacr</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-860</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">620.11</subfield><subfield code="2">23</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DAT 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">TEC 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Technologien für Mikrosysteme</subfield><subfield code="b">Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik</subfield><subfield code="c">herausgegeben von Magdala Gronau, Joachim Hafkesbrink, Michael Krause, Wilfried Mokwa, Matthias Rospert</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin, Heidelberg</subfield><subfield code="b">Springer Berlin Heidelberg</subfield><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource (XVII, 222 S.)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">VDI-Buch</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Der Trend zur Verkleinerung technischer Produkte hält nun schon seit vielen Jahren an - der Weg von den Großrechnern früherer Tage über Tischrechner bis zu den Notebooks und Palmtops von heute, der Fernseher im Streichholzschachtelformat und CD-Plattenspieler, die bequem in Rock- und Hosentaschen Platz finden, sind nur einige Beispiele für diese Entwicklung. Zur Realisierung dieser Produkte mußten mechanische Komponenten wie Steckverbindungen oder Antriebe, optische und optoelektronische Kompo nenten wie Linsen oder Laser genauso miniaturisiert werden wie die mikroelektronischen Bauelemente. Die Integration solcher Komponenten zu einem System verlangte darüberhinaus nach ganz neuen Wegen in der Fertigungstechnik. Der gesamte Entwicklungsprozeß war nicht nur mit Investitionen in neuartige Maschinen und Anlagen verbunden, sondern auch mit einer ständigen Weiterbildung der Mitarbeiter. Der Trend zur Miniaturisierung ist bis heute ungebrochen und greift längst über die augenfälligen Beispiele der genannten Art hinaus. Von der Autoelektronik bis zur minimal-invasiven Chirurgie, von der Sicher heitstechnik in Gebäuden bis zum Hörgerät - miniaturisierte technische Geräte sind dabei, alte Probleme besser zu lösen oder bisher unlösbare lösbar zu machen. Besondere Beachtung werden dabei in Zukunft die viel faltigen Möglichkeiten zur Material- und Energieeinsparung finden</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Surfaces (Physics)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Materials Science</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Characterization and Evaluation of Materials</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Forschung und Entwicklung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4017897-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Forschung und Entwicklung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4017897-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Gronau, Magdala</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hafkesbrink, Joachim</subfield><subfield code="d">1958-</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)170534855</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Krause, Michael</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mokwa, Wilfried</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Rospert, Matthias</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="a">ZDB-2-BAD</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_Archive</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_1990/1999</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027872325</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV042436995 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T01:21:38Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783662305126 9783540622284 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027872325 |
| oclc_num | 907404998 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-860 DE-1046 DE-Aug4 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-860 DE-1046 DE-Aug4 |
| physical | 1 Online-Ressource (XVII, 222 S.) |
| psigel | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD ZDB-2-STI_Archive ZDB-2-STI_1990/1999 |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| publisher | Springer Berlin Heidelberg |
| record_format | marc |
| series2 | VDI-Buch |
| spelling | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik herausgegeben von Magdala Gronau, Joachim Hafkesbrink, Michael Krause, Wilfried Mokwa, Matthias Rospert Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1993 1 Online-Ressource (XVII, 222 S.) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier VDI-Buch Der Trend zur Verkleinerung technischer Produkte hält nun schon seit vielen Jahren an - der Weg von den Großrechnern früherer Tage über Tischrechner bis zu den Notebooks und Palmtops von heute, der Fernseher im Streichholzschachtelformat und CD-Plattenspieler, die bequem in Rock- und Hosentaschen Platz finden, sind nur einige Beispiele für diese Entwicklung. Zur Realisierung dieser Produkte mußten mechanische Komponenten wie Steckverbindungen oder Antriebe, optische und optoelektronische Kompo nenten wie Linsen oder Laser genauso miniaturisiert werden wie die mikroelektronischen Bauelemente. Die Integration solcher Komponenten zu einem System verlangte darüberhinaus nach ganz neuen Wegen in der Fertigungstechnik. Der gesamte Entwicklungsprozeß war nicht nur mit Investitionen in neuartige Maschinen und Anlagen verbunden, sondern auch mit einer ständigen Weiterbildung der Mitarbeiter. Der Trend zur Miniaturisierung ist bis heute ungebrochen und greift längst über die augenfälligen Beispiele der genannten Art hinaus. Von der Autoelektronik bis zur minimal-invasiven Chirurgie, von der Sicher heitstechnik in Gebäuden bis zum Hörgerät - miniaturisierte technische Geräte sind dabei, alte Probleme besser zu lösen oder bisher unlösbare lösbar zu machen. Besondere Beachtung werden dabei in Zukunft die viel faltigen Möglichkeiten zur Material- und Energieeinsparung finden Surfaces (Physics) Materials Science Characterization and Evaluation of Materials Forschung und Entwicklung (DE-588)4017897-3 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s Forschung und Entwicklung (DE-588)4017897-3 s 1\p DE-604 Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s 2\p DE-604 Gronau, Magdala Sonstige oth Hafkesbrink, Joachim 1958- Sonstige (DE-588)170534855 oth Krause, Michael Sonstige oth Mokwa, Wilfried Sonstige oth Rospert, Matthias Sonstige oth https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik Surfaces (Physics) Materials Science Characterization and Evaluation of Materials Forschung und Entwicklung (DE-588)4017897-3 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4017897-3 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4221617-5 |
| title | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik |
| title_auth | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik |
| title_exact_search | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik |
| title_full | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik herausgegeben von Magdala Gronau, Joachim Hafkesbrink, Michael Krause, Wilfried Mokwa, Matthias Rospert |
| title_fullStr | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik herausgegeben von Magdala Gronau, Joachim Hafkesbrink, Michael Krause, Wilfried Mokwa, Matthias Rospert |
| title_full_unstemmed | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik herausgegeben von Magdala Gronau, Joachim Hafkesbrink, Michael Krause, Wilfried Mokwa, Matthias Rospert |
| title_short | Technologien für Mikrosysteme |
| title_sort | technologien fur mikrosysteme stand und entwicklung integrier optik schichttechniken mikromechanik halbleitetechniken faseroptik |
| title_sub | Stand und Entwicklung / Integrier Optik - Schichttechniken - Mikromechanik - Halbleitetechniken - Faseroptik |
| topic | Surfaces (Physics) Materials Science Characterization and Evaluation of Materials Forschung und Entwicklung (DE-588)4017897-3 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| topic_facet | Surfaces (Physics) Materials Science Characterization and Evaluation of Materials Forschung und Entwicklung Mikromechanik Mikrosystemtechnik |
| url | https://doi.org/10.1007/978-3-662-30512-6 |
| work_keys_str_mv | AT gronaumagdala technologienfurmikrosystemestandundentwicklungintegrieroptikschichttechnikenmikromechanikhalbleitetechnikenfaseroptik AT hafkesbrinkjoachim technologienfurmikrosystemestandundentwicklungintegrieroptikschichttechnikenmikromechanikhalbleitetechnikenfaseroptik AT krausemichael technologienfurmikrosystemestandundentwicklungintegrieroptikschichttechnikenmikromechanikhalbleitetechnikenfaseroptik AT mokwawilfried technologienfurmikrosystemestandundentwicklungintegrieroptikschichttechnikenmikromechanikhalbleitetechnikenfaseroptik AT rospertmatthias technologienfurmikrosystemestandundentwicklungintegrieroptikschichttechnikenmikromechanikhalbleitetechnikenfaseroptik |