Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
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| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1991
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| Schriftenreihe: | Mikroelektronik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (XVI, 500 S.) |
| ISBN: | 9783662095409 9783540176701 |
| ISSN: | 1431-6021 |
| DOI: | 10.1007/978-3-662-09540-9 |
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| spelling | Schumicki, Günter Verfasser aut Prozeßtechnologie Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen von Günter Schumicki, Peter Seegebrecht Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1991 1 Online-Ressource (XVI, 500 S.) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Mikroelektronik 1431-6021 Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen Engineering Electronics Electronics and Microelectronics, Instrumentation Ingenieurwissenschaften MOS (DE-588)4130209-6 gnd rswk-swf Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd rswk-swf MOS-Schaltung (DE-588)4135571-4 gnd rswk-swf VLSI (DE-588)4117388-0 gnd rswk-swf Verfahrenstechnik (DE-588)4062781-0 gnd rswk-swf Fertigung (DE-588)4016899-2 gnd rswk-swf Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd rswk-swf Prozessfertigung (DE-588)4176059-1 gnd rswk-swf CMOS-Schaltung (DE-588)4148111-2 gnd rswk-swf Fertigung (DE-588)4016899-2 s MOS (DE-588)4130209-6 s Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 s 1\p DE-604 VLSI (DE-588)4117388-0 s Verfahrenstechnik (DE-588)4062781-0 s 2\p DE-604 MOS-Schaltung (DE-588)4135571-4 s Prozessfertigung (DE-588)4176059-1 s 3\p DE-604 CMOS-Schaltung (DE-588)4148111-2 s Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 s 4\p DE-604 5\p DE-604 Seegebrecht, Peter Sonstige oth https://doi.org/10.1007/978-3-662-09540-9 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 3\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 4\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 5\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
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