Technologie hochintegrierter Schaltungen:
Gespeichert in:
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| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1988
|
| Schriftenreihe: | Halbleiter-Elektronik
19 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeßintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (320S. 200 Abb) |
| ISBN: | 9783642970597 9783540184393 |
| ISSN: | 0172-5882 |
| DOI: | 10.1007/978-3-642-97059-7 |
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| spelling | Widmann, Dietrich Verfasser aut Technologie hochintegrierter Schaltungen von Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1988 1 Online-Ressource (320S. 200 Abb) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Halbleiter-Elektronik 19 0172-5882 Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeßintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben Engineering Electronics Optical materials Electronics and Microelectronics, Instrumentation Optical and Electronic Materials Ingenieurwissenschaften Technik (DE-588)4059205-4 gnd rswk-swf Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd rswk-swf Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd rswk-swf LSI (DE-588)4168200-2 gnd rswk-swf VLSI (DE-588)4117388-0 gnd rswk-swf LSI (DE-588)4168200-2 s Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 s 1\p DE-604 VLSI (DE-588)4117388-0 s 2\p DE-604 Technik (DE-588)4059205-4 s 3\p DE-604 4\p DE-604 Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 s 5\p DE-604 Mader, Hermann Sonstige oth Friedrich, Hans Sonstige oth Halbleiter-Elektronik 19 (DE-604)BV035415828 19 https://doi.org/10.1007/978-3-642-97059-7 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 3\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 4\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 5\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
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