Beschichten mit Hartstoffen:
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1992
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| Schriftenreihe: | VDI-TZ-Proceedings
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| Beschreibung: | Die Dünnschichttechnologie gehört heute zu den bedeutendsten Schlüsseltechnologien der Industrieländer. Die Erzeugung von reibungs- und verschleißmindernden Schichten ist heute neben der Mikroelektronik die Triebfeder zur Unternehmung neuer Dünnschichtverfahren geworden. Mit diesen Verfahren werden in viefältiger Weise Hartstoffschichten erzeugt. Hartstoffschichten gehören zu den am besten untersuchten Schichtsystemen. Das Wissen hierüber ist enorm und kaum noch zu übersehen. In diesem Bereich der Dünnschichttechnologien ist heute neben der Optik noch am ehesten der Ansatz der ingenieurmäßigen Konstruktion funktionaler Schichtsysteme möglich. Im Rahmen der Kolloquienreihe "Moderne Oberflächen- und Dünnschichttechnologien - Verfahren und Anwendungen" des VDI-Technologiezentrums, aus der die vorliegenden Beiträge stammen, wurde versucht, einen Überblick über die Verfahrens- und Anwendungsvielfalt aber auch die Herstellungsprobleme von Hartstoffschichten zu geben. Das VDI-Technologiezentrum arbeitet im Auftrag und mit Unterstützung des Bundesministers für Forschung und Technologie (BMFT). Dr. L. Cleemann Geschäftsführer des VDI-Technologiezentrums v Inhaltsverzeichnis Härtemechanismen in Hartstoffschichten Kriterien für die anwendungsbezogene Auswahl von Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 Hartstoffschichten in der Mikroelektronik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 Anforderungen an dekorative harte Schichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 Eigenspannungsmessungen an Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79 Probleme der Lohnbeschichtung - Qualitätssicherung . . . . . . . . . . . . . . 100 Die PVD-Beschichtung aus der Sicht des Werkstoffherstellers 106 Silbernes TiN durch Magnetronsputtern und seine Anwendungsbeispiele . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 Das unbalancierte Magnetron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163 Oberflächenbehandlung von TI-Werkstoffen mit CO -Hochleistungslasern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176 2 Ionenstrahlmischen von Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188 Moderne Entwicklungen auf dem Gebiet der CVD-Beschichtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205 MOCVD für Hartstoffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221 Plasma-CVD-Beschichtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239 Neue Schichtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 250 Korrosionsschutz mit PVD-Schichten auf Cr-Basis . . . . . . . . . . . . . . . . |
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| series2 | VDI-TZ-Proceedings |
| spelling | Technologiezentrum Physikalische Technologien (Düsseldorf) Verfasser (DE-588)2079144-6 aut Beschichten mit Hartstoffen Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1992 1 Online-Ressource (VIII, 296 S.) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier VDI-TZ-Proceedings Die Dünnschichttechnologie gehört heute zu den bedeutendsten Schlüsseltechnologien der Industrieländer. Die Erzeugung von reibungs- und verschleißmindernden Schichten ist heute neben der Mikroelektronik die Triebfeder zur Unternehmung neuer Dünnschichtverfahren geworden. Mit diesen Verfahren werden in viefältiger Weise Hartstoffschichten erzeugt. Hartstoffschichten gehören zu den am besten untersuchten Schichtsystemen. Das Wissen hierüber ist enorm und kaum noch zu übersehen. In diesem Bereich der Dünnschichttechnologien ist heute neben der Optik noch am ehesten der Ansatz der ingenieurmäßigen Konstruktion funktionaler Schichtsysteme möglich. Im Rahmen der Kolloquienreihe "Moderne Oberflächen- und Dünnschichttechnologien - Verfahren und Anwendungen" des VDI-Technologiezentrums, aus der die vorliegenden Beiträge stammen, wurde versucht, einen Überblick über die Verfahrens- und Anwendungsvielfalt aber auch die Herstellungsprobleme von Hartstoffschichten zu geben. Das VDI-Technologiezentrum arbeitet im Auftrag und mit Unterstützung des Bundesministers für Forschung und Technologie (BMFT). Dr. L. Cleemann Geschäftsführer des VDI-Technologiezentrums v Inhaltsverzeichnis Härtemechanismen in Hartstoffschichten Kriterien für die anwendungsbezogene Auswahl von Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 Hartstoffschichten in der Mikroelektronik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 Anforderungen an dekorative harte Schichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 Eigenspannungsmessungen an Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79 Probleme der Lohnbeschichtung - Qualitätssicherung . . . . . . . . . . . . . . 100 Die PVD-Beschichtung aus der Sicht des Werkstoffherstellers 106 Silbernes TiN durch Magnetronsputtern und seine Anwendungsbeispiele . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 Das unbalancierte Magnetron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163 Oberflächenbehandlung von TI-Werkstoffen mit CO -Hochleistungslasern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176 2 Ionenstrahlmischen von Hartstoffschichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188 Moderne Entwicklungen auf dem Gebiet der CVD-Beschichtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205 MOCVD für Hartstoffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221 Plasma-CVD-Beschichtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239 Neue Schichtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 250 Korrosionsschutz mit PVD-Schichten auf Cr-Basis . . . . . . . . . . . . . . . . Surfaces (Physics) Materials Science Characterization and Evaluation of Materials Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd rswk-swf Hartstoff (DE-588)4023555-5 gnd rswk-swf 1\p (DE-588)1071861417 Konferenzschrift gnd-content Hartstoff (DE-588)4023555-5 s Beschichtung (DE-588)4144863-7 s 2\p DE-604 Beschichten (DE-588)4005996-0 s 3\p DE-604 https://doi.org/10.1007/978-3-642-95826-7 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 3\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
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