Bau hybrider Mikroschaltungen: Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lüder, Ernst 1932- (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:German
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1977
Schriftenreihe:Nachrichtentechnik 3
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Beschreibung:Die zentralen Bauteile hybrider, d.h. gemischt aufgebauter Mikroschaltungen sind Widerstände, Kondensatoren und Leiterbahnen in Dick- oder Dünnschichttechnik. Zusätzliche Elemente, zu denen insbesondere Einzelhalbleiter und integrierte Schaltkreise gehören, setzt man durch ein Bondverfahren in die Schichtschaltung ein. In diesem Buch werden die Herstellungsverfahren für Schichtbauteile, deren Eigenschaften und die Hybridierung der Schaltung, nicht aber Fragen der Halbleitertechnik behandelt. Der Band soll dem Ingenieur oder Physiker eine Einführung in die hybride Schichttechnik bieten, ihn aber auch in die Lage versetzen, die wesentlichen Kenntnisse zum selbständigen Bau von Schichtschaltungen zu erwerben. Viele Beobachtungen und Erfahrungen aus dem Labor für Dünn- und Dickschichttechnik der Universität Stuttgart sind in die Darstellung eingeflossen. Dem Leiter dieses Labors, Herrn Dr. T. Kallfaß, danke ich für seinen hilfreichen fachlichen Rat und für die kritische Durchsicht des gesamten Buches. Viele wertvolle Hinweise verdanke ich meinen Mitarbeitern, den Herren Dipl. -Phys. H. Baeger, Dipl.-Ing. B. Kaiser, Dr.-Ing. H. W. Renz und Dipl.-Phys. R. Riekeles. Herr Ing. grad. G. Stahle und Herr R. Geiger haben sämtliche Zeichnungen mit Sachverstand angefertigt. Frl. U. Rieger danke ich für die Geduld und Sorgfalt bei der Herstellung des Manuskriptes. Ich hoffe, daß der vorliegende Band dazu beiträgt, den hybriden Mikroschaltungen in der Nachrichten- und Regelungstechnik, in der Haushalts- und Kfz-Elektronik und in der medizinischen Technik eine immer breitere und nutzbringende Anwendung zu verschaffen
Beschreibung:1 Online-Ressource (X, 166 S.)
ISBN:9783642953019
9783540082897
ISSN:0342-9148
DOI:10.1007/978-3-642-95301-9

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