Bau hybrider Mikroschaltungen: Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Elektronisch E-Book |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1977
|
Schriftenreihe: | Nachrichtentechnik
3 |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
Beschreibung: | Die zentralen Bauteile hybrider, d.h. gemischt aufgebauter Mikroschaltungen sind Widerstände, Kondensatoren und Leiterbahnen in Dick- oder Dünnschichttechnik. Zusätzliche Elemente, zu denen insbesondere Einzelhalbleiter und integrierte Schaltkreise gehören, setzt man durch ein Bondverfahren in die Schichtschaltung ein. In diesem Buch werden die Herstellungsverfahren für Schichtbauteile, deren Eigenschaften und die Hybridierung der Schaltung, nicht aber Fragen der Halbleitertechnik behandelt. Der Band soll dem Ingenieur oder Physiker eine Einführung in die hybride Schichttechnik bieten, ihn aber auch in die Lage versetzen, die wesentlichen Kenntnisse zum selbständigen Bau von Schichtschaltungen zu erwerben. Viele Beobachtungen und Erfahrungen aus dem Labor für Dünn- und Dickschichttechnik der Universität Stuttgart sind in die Darstellung eingeflossen. Dem Leiter dieses Labors, Herrn Dr. T. Kallfaß, danke ich für seinen hilfreichen fachlichen Rat und für die kritische Durchsicht des gesamten Buches. Viele wertvolle Hinweise verdanke ich meinen Mitarbeitern, den Herren Dipl. -Phys. H. Baeger, Dipl.-Ing. B. Kaiser, Dr.-Ing. H. W. Renz und Dipl.-Phys. R. Riekeles. Herr Ing. grad. G. Stahle und Herr R. Geiger haben sämtliche Zeichnungen mit Sachverstand angefertigt. Frl. U. Rieger danke ich für die Geduld und Sorgfalt bei der Herstellung des Manuskriptes. Ich hoffe, daß der vorliegende Band dazu beiträgt, den hybriden Mikroschaltungen in der Nachrichten- und Regelungstechnik, in der Haushalts- und Kfz-Elektronik und in der medizinischen Technik eine immer breitere und nutzbringende Anwendung zu verschaffen |
Beschreibung: | 1 Online-Ressource (X, 166 S.) |
ISBN: | 9783642953019 9783540082897 |
ISSN: | 0342-9148 |
DOI: | 10.1007/978-3-642-95301-9 |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nmm a2200000zcb4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV042434689 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 20160421 | ||
007 | cr|uuu---uuuuu | ||
008 | 150320s1977 |||| o||u| ||||||ger d | ||
020 | |a 9783642953019 |c Online |9 978-3-642-95301-9 | ||
020 | |a 9783540082897 |c Print |9 978-3-540-08289-7 | ||
024 | 7 | |a 10.1007/978-3-642-95301-9 |2 doi | |
035 | |a (OCoLC)863924765 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV042434689 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e aacr | ||
041 | 0 | |a ger | |
049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-92 |a DE-573 |a DE-706 |a DE-1046 |a DE-1047 | ||
082 | 0 | |a 621.382 |2 23 | |
084 | |a TEC 000 |2 stub | ||
084 | |a DAT 000 |2 stub | ||
100 | 1 | |a Lüder, Ernst |d 1932- |e Verfasser |0 (DE-588)172232082 |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Bau hybrider Mikroschaltungen |b Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie |c von Ernst Lüder |
264 | 1 | |a Berlin, Heidelberg |b Springer Berlin Heidelberg |c 1977 | |
300 | |a 1 Online-Ressource (X, 166 S.) | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b c |2 rdamedia | ||
338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
490 | 0 | |a Nachrichtentechnik |v 3 |x 0342-9148 | |
500 | |a Die zentralen Bauteile hybrider, d.h. gemischt aufgebauter Mikroschaltungen sind Widerstände, Kondensatoren und Leiterbahnen in Dick- oder Dünnschichttechnik. Zusätzliche Elemente, zu denen insbesondere Einzelhalbleiter und integrierte Schaltkreise gehören, setzt man durch ein Bondverfahren in die Schichtschaltung ein. In diesem Buch werden die Herstellungsverfahren für Schichtbauteile, deren Eigenschaften und die Hybridierung der Schaltung, nicht aber Fragen der Halbleitertechnik behandelt. Der Band soll dem Ingenieur oder Physiker eine Einführung in die hybride Schichttechnik bieten, ihn aber auch in die Lage versetzen, die wesentlichen Kenntnisse zum selbständigen Bau von Schichtschaltungen zu erwerben. Viele Beobachtungen und Erfahrungen aus dem Labor für Dünn- und Dickschichttechnik der Universität Stuttgart sind in die Darstellung eingeflossen. Dem Leiter dieses Labors, Herrn Dr. T. Kallfaß, danke ich für seinen hilfreichen fachlichen Rat und für die kritische Durchsicht des gesamten Buches. Viele wertvolle Hinweise verdanke ich meinen Mitarbeitern, den Herren Dipl. -Phys. H. Baeger, Dipl.-Ing. B. Kaiser, Dr.-Ing. H. W. Renz und Dipl.-Phys. R. Riekeles. Herr Ing. grad. G. Stahle und Herr R. Geiger haben sämtliche Zeichnungen mit Sachverstand angefertigt. Frl. U. Rieger danke ich für die Geduld und Sorgfalt bei der Herstellung des Manuskriptes. Ich hoffe, daß der vorliegende Band dazu beiträgt, den hybriden Mikroschaltungen in der Nachrichten- und Regelungstechnik, in der Haushalts- und Kfz-Elektronik und in der medizinischen Technik eine immer breitere und nutzbringende Anwendung zu verschaffen | ||
650 | 4 | |a Engineering | |
650 | 4 | |a Telecommunication | |
650 | 4 | |a Communications Engineering, Networks | |
650 | 4 | |a Ingenieurwissenschaften | |
650 | 0 | 7 | |a Hybridschaltung |0 (DE-588)4026281-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Dickschichttechnik |0 (DE-588)4012133-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
689 | 0 | 0 | |a Hybridschaltung |0 (DE-588)4026281-9 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Dickschichttechnik |0 (DE-588)4012133-1 |D s |
689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Hybridschaltung |0 (DE-588)4026281-9 |D s |
689 | 1 | 1 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |D s |
689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.1007/978-3-642-95301-9 |x Verlag |3 Volltext |
912 | |a ZDB-2-STI |a ZDB-2-BAD | ||
940 | 1 | |q ZDB-2-STI_Archive | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027870019 | ||
883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804153121164754944 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Lüder, Ernst 1932- |
author_GND | (DE-588)172232082 |
author_facet | Lüder, Ernst 1932- |
author_role | aut |
author_sort | Lüder, Ernst 1932- |
author_variant | e l el |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV042434689 |
classification_tum | TEC 000 DAT 000 |
collection | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD |
ctrlnum | (OCoLC)863924765 (DE-599)BVBBV042434689 |
dewey-full | 621.382 |
dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
dewey-ones | 621 - Applied physics |
dewey-raw | 621.382 |
dewey-search | 621.382 |
dewey-sort | 3621.382 |
dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
discipline | Technik Technik Informatik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
doi_str_mv | 10.1007/978-3-642-95301-9 |
format | Electronic eBook |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>03741nmm a2200553zcb4500</leader><controlfield tag="001">BV042434689</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160421 </controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">150320s1977 |||| o||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783642953019</subfield><subfield code="c">Online</subfield><subfield code="9">978-3-642-95301-9</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783540082897</subfield><subfield code="c">Print</subfield><subfield code="9">978-3-540-08289-7</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">10.1007/978-3-642-95301-9</subfield><subfield code="2">doi</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)863924765</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042434689</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">aacr</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-1047</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.382</subfield><subfield code="2">23</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">TEC 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DAT 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lüder, Ernst</subfield><subfield code="d">1932-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)172232082</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Bau hybrider Mikroschaltungen</subfield><subfield code="b">Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie</subfield><subfield code="c">von Ernst Lüder</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin, Heidelberg</subfield><subfield code="b">Springer Berlin Heidelberg</subfield><subfield code="c">1977</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource (X, 166 S.)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Nachrichtentechnik</subfield><subfield code="v">3</subfield><subfield code="x">0342-9148</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Die zentralen Bauteile hybrider, d.h. gemischt aufgebauter Mikroschaltungen sind Widerstände, Kondensatoren und Leiterbahnen in Dick- oder Dünnschichttechnik. Zusätzliche Elemente, zu denen insbesondere Einzelhalbleiter und integrierte Schaltkreise gehören, setzt man durch ein Bondverfahren in die Schichtschaltung ein. In diesem Buch werden die Herstellungsverfahren für Schichtbauteile, deren Eigenschaften und die Hybridierung der Schaltung, nicht aber Fragen der Halbleitertechnik behandelt. Der Band soll dem Ingenieur oder Physiker eine Einführung in die hybride Schichttechnik bieten, ihn aber auch in die Lage versetzen, die wesentlichen Kenntnisse zum selbständigen Bau von Schichtschaltungen zu erwerben. Viele Beobachtungen und Erfahrungen aus dem Labor für Dünn- und Dickschichttechnik der Universität Stuttgart sind in die Darstellung eingeflossen. Dem Leiter dieses Labors, Herrn Dr. T. Kallfaß, danke ich für seinen hilfreichen fachlichen Rat und für die kritische Durchsicht des gesamten Buches. Viele wertvolle Hinweise verdanke ich meinen Mitarbeitern, den Herren Dipl. -Phys. H. Baeger, Dipl.-Ing. B. Kaiser, Dr.-Ing. H. W. Renz und Dipl.-Phys. R. Riekeles. Herr Ing. grad. G. Stahle und Herr R. Geiger haben sämtliche Zeichnungen mit Sachverstand angefertigt. Frl. U. Rieger danke ich für die Geduld und Sorgfalt bei der Herstellung des Manuskriptes. Ich hoffe, daß der vorliegende Band dazu beiträgt, den hybriden Mikroschaltungen in der Nachrichten- und Regelungstechnik, in der Haushalts- und Kfz-Elektronik und in der medizinischen Technik eine immer breitere und nutzbringende Anwendung zu verschaffen</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Engineering</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Telecommunication</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Communications Engineering, Networks</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Ingenieurwissenschaften</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hybridschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4026281-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dickschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012133-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Hybridschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4026281-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dickschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012133-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Hybridschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4026281-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-642-95301-9</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="a">ZDB-2-BAD</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_Archive</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027870019</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
id | DE-604.BV042434689 |
illustrated | Not Illustrated |
indexdate | 2024-07-10T01:21:34Z |
institution | BVB |
isbn | 9783642953019 9783540082897 |
issn | 0342-9148 |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027870019 |
oclc_num | 863924765 |
open_access_boolean | |
owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-1046 DE-1047 |
owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-1046 DE-1047 |
physical | 1 Online-Ressource (X, 166 S.) |
psigel | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD ZDB-2-STI_Archive |
publishDate | 1977 |
publishDateSearch | 1977 |
publishDateSort | 1977 |
publisher | Springer Berlin Heidelberg |
record_format | marc |
series2 | Nachrichtentechnik |
spelling | Lüder, Ernst 1932- Verfasser (DE-588)172232082 aut Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie von Ernst Lüder Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1977 1 Online-Ressource (X, 166 S.) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Nachrichtentechnik 3 0342-9148 Die zentralen Bauteile hybrider, d.h. gemischt aufgebauter Mikroschaltungen sind Widerstände, Kondensatoren und Leiterbahnen in Dick- oder Dünnschichttechnik. Zusätzliche Elemente, zu denen insbesondere Einzelhalbleiter und integrierte Schaltkreise gehören, setzt man durch ein Bondverfahren in die Schichtschaltung ein. In diesem Buch werden die Herstellungsverfahren für Schichtbauteile, deren Eigenschaften und die Hybridierung der Schaltung, nicht aber Fragen der Halbleitertechnik behandelt. Der Band soll dem Ingenieur oder Physiker eine Einführung in die hybride Schichttechnik bieten, ihn aber auch in die Lage versetzen, die wesentlichen Kenntnisse zum selbständigen Bau von Schichtschaltungen zu erwerben. Viele Beobachtungen und Erfahrungen aus dem Labor für Dünn- und Dickschichttechnik der Universität Stuttgart sind in die Darstellung eingeflossen. Dem Leiter dieses Labors, Herrn Dr. T. Kallfaß, danke ich für seinen hilfreichen fachlichen Rat und für die kritische Durchsicht des gesamten Buches. Viele wertvolle Hinweise verdanke ich meinen Mitarbeitern, den Herren Dipl. -Phys. H. Baeger, Dipl.-Ing. B. Kaiser, Dr.-Ing. H. W. Renz und Dipl.-Phys. R. Riekeles. Herr Ing. grad. G. Stahle und Herr R. Geiger haben sämtliche Zeichnungen mit Sachverstand angefertigt. Frl. U. Rieger danke ich für die Geduld und Sorgfalt bei der Herstellung des Manuskriptes. Ich hoffe, daß der vorliegende Band dazu beiträgt, den hybriden Mikroschaltungen in der Nachrichten- und Regelungstechnik, in der Haushalts- und Kfz-Elektronik und in der medizinischen Technik eine immer breitere und nutzbringende Anwendung zu verschaffen Engineering Telecommunication Communications Engineering, Networks Ingenieurwissenschaften Hybridschaltung (DE-588)4026281-9 gnd rswk-swf Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 gnd rswk-swf Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd rswk-swf Hybridschaltung (DE-588)4026281-9 s Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 s 1\p DE-604 Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 s 2\p DE-604 https://doi.org/10.1007/978-3-642-95301-9 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
spellingShingle | Lüder, Ernst 1932- Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie Engineering Telecommunication Communications Engineering, Networks Ingenieurwissenschaften Hybridschaltung (DE-588)4026281-9 gnd Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd |
subject_GND | (DE-588)4026281-9 (DE-588)4012133-1 (DE-588)4136339-5 |
title | Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie |
title_auth | Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie |
title_exact_search | Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie |
title_full | Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie von Ernst Lüder |
title_fullStr | Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie von Ernst Lüder |
title_full_unstemmed | Bau hybrider Mikroschaltungen Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie von Ernst Lüder |
title_short | Bau hybrider Mikroschaltungen |
title_sort | bau hybrider mikroschaltungen einfuhrung in die dunn und dickschichttechnologie |
title_sub | Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie |
topic | Engineering Telecommunication Communications Engineering, Networks Ingenieurwissenschaften Hybridschaltung (DE-588)4026281-9 gnd Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd |
topic_facet | Engineering Telecommunication Communications Engineering, Networks Ingenieurwissenschaften Hybridschaltung Dickschichttechnik Dünnschichttechnik |
url | https://doi.org/10.1007/978-3-642-95301-9 |
work_keys_str_mv | AT luderernst bauhybridermikroschaltungeneinfuhrungindiedunnunddickschichttechnologie |