Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelkontamination von Reinstgasversorgungskomponenten:
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| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1999
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| Schriftenreihe: | IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement, Universität Stuttgart
282 |
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| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA). Stuttgart. Als Dankeschön für den großen Rückhalt während des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Ulrike, meinen Schwiegereltem sowie meinen verstorbenen Eltern. Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkämper danke ich für die wohlwollende Unterstützung und Förderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Hofflinger für die Durchsicht und Übernahme des Mitberichts. Für die Unterstützung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr.-Ing. B. Klumpp. Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. A. Filipovic und Dipl.-Ing. P. Fode für die intensiven Fachgespräche, Kritik und Unterstützung. Einen besonderen Dank möchte ich auch den Herren Dipl.-Ing. D. Werner und Dipl.-Ing. B. Müller für ihre ausdauernde Diskussionsbereitschaft während der Entstehung dieses Werkes aussprechen |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (114S. 79 Abb) |
| ISBN: | 9783642479700 9783540655626 |
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| topic | Engineering Industrial engineering Industrial and Production Engineering Ingenieurwissenschaften Teilchenmesstechnik (DE-588)4129617-5 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Reinststoff (DE-588)4177599-5 gnd Reinraumtechnik (DE-588)4177592-2 gnd Kontamination (DE-588)4032272-5 gnd Gasversorgung (DE-588)4133063-8 gnd |
| topic_facet | Engineering Industrial engineering Industrial and Production Engineering Ingenieurwissenschaften Teilchenmesstechnik Halbleitertechnologie Reinststoff Reinraumtechnik Kontamination Gasversorgung Hochschulschrift |
| url | https://doi.org/10.1007/978-3-642-47970-0 |
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