Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1992
|
| Schriftenreihe: | IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, und Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart
165 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Die Untersuchungen wurden anteilig mit Mitteln des Bundesministeriums für Forschung und Technologie (BMFT), Projektträgerschaft "Halbleiterfertigungsgeräte" gefördert. Mein besonderer Dank gilt dem Leiter des Instituts, Herrn Professor Dr. -Ing. H. -J. Warnecke, für seine großzügige Unterstützung und Förderung, die entscheidend zur erfolgreichen Durchführung dieser Arbeit beigetragen haben. Herrn Professor Dr. -Ing. H. Bach danke ich für die Übernahme des Mitberichtes, für die eingehende Durchsicht und für die wertvollen Hinweise, die sich daraus ergaben. Aus dem großen Kreis der Kollegen am Institut, die mich durch ihre Mitarbeit und anregende Kritik unterstützt haben, möchte ich die Herren Dr. -Ing. J. Geißinger, Dipl. -Ing. J. Schließer, Dr. -Ing. M. Schweizer, P. Baumbusch und Prof. Dr. -Ing. R-D. Schraft besonders erwähnen. Ihnen allen gilt mein herzlicher Dank. Stuttgart, Januar 1992 Elmar Degenhart Inhaltsverzeichnis Abkürzungen und Formelzeichen 13 1 Einleitung 15 1. 1 Problemstellung 15 1. 2 Zielsetzung und Vorgehensweise 16 2 Stand der Technik 17 2. 1 Begriffe und Definitionen 17 2. 1. 1 Reinraumtechnologie 17 2. 1. 2 Reinheitsldassen 17 2. 1. 3 Reinraum 18 2. 2 Ausgangssituation 21 2. 2. 1 Kontaminationsquellen im Reinraum 21 Strömungsverhältnisse im Reinraum 2. 2. 2 23 2. 2. 3 Strömungstechnische Untersuchungsmethoden 24 Quantitative Methoden 2. 2. 3. 1 24 2. 2. 3. 2 Qualitative Methoden der Strömungssichtbarmachung 26 2. 2. 4 Fertigungsgerätetechnik 29 3 Entwicklungsschwerpunkte 33 3 |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (137S. 72 Abb) |
| ISBN: | 9783642479496 9783540554783 |
| DOI: | 10.1007/978-3-642-47949-6 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nmm a2200000zcb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042431723 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20190215 | ||
| 006 | a m||| 00||| | ||
| 007 | cr|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 150320s1992 |||| o||u| ||||||ger d | ||
| 020 | |a 9783642479496 |c Online |9 978-3-642-47949-6 | ||
| 020 | |a 9783540554783 |c Print |9 978-3-540-55478-3 | ||
| 024 | 7 | |a 10.1007/978-3-642-47949-6 |2 doi | |
| 035 | |a (OCoLC)863943537 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV042431723 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e aacr | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-634 |a DE-92 |a DE-573 |a DE-706 |a DE-860 |a DE-1046 |a DE-Aug4 | ||
| 082 | 0 | |a 658.1 |2 23 | |
| 084 | |a DAT 000 |2 stub | ||
| 084 | |a TEC 000 |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Degenhart, Elmar |d 1959- |e Verfasser |0 (DE-588)1012802531 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen |c von Elmar Degenhart |
| 264 | 1 | |a Berlin, Heidelberg |b Springer Berlin Heidelberg |c 1992 | |
| 300 | |a 1 Online-Ressource (137S. 72 Abb) | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, und Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart |v 165 | |
| 500 | |a Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Die Untersuchungen wurden anteilig mit Mitteln des Bundesministeriums für Forschung und Technologie (BMFT), Projektträgerschaft "Halbleiterfertigungsgeräte" gefördert. Mein besonderer Dank gilt dem Leiter des Instituts, Herrn Professor Dr. -Ing. H. -J. Warnecke, für seine großzügige Unterstützung und Förderung, die entscheidend zur erfolgreichen Durchführung dieser Arbeit beigetragen haben. Herrn Professor Dr. -Ing. H. Bach danke ich für die Übernahme des Mitberichtes, für die eingehende Durchsicht und für die wertvollen Hinweise, die sich daraus ergaben. Aus dem großen Kreis der Kollegen am Institut, die mich durch ihre Mitarbeit und anregende Kritik unterstützt haben, möchte ich die Herren Dr. -Ing. J. Geißinger, Dipl. -Ing. J. Schließer, Dr. -Ing. M. Schweizer, P. Baumbusch und Prof. Dr. -Ing. R-D. Schraft besonders erwähnen. Ihnen allen gilt mein herzlicher Dank. Stuttgart, Januar 1992 Elmar Degenhart Inhaltsverzeichnis Abkürzungen und Formelzeichen 13 1 Einleitung 15 1. 1 Problemstellung 15 1. 2 Zielsetzung und Vorgehensweise 16 2 Stand der Technik 17 2. 1 Begriffe und Definitionen 17 2. 1. 1 Reinraumtechnologie 17 2. 1. 2 Reinheitsldassen 17 2. 1. 3 Reinraum 18 2. 2 Ausgangssituation 21 2. 2. 1 Kontaminationsquellen im Reinraum 21 Strömungsverhältnisse im Reinraum 2. 2. 2 23 2. 2. 3 Strömungstechnische Untersuchungsmethoden 24 Quantitative Methoden 2. 2. 3. 1 24 2. 2. 3. 2 Qualitative Methoden der Strömungssichtbarmachung 26 2. 2. 4 Fertigungsgerätetechnik 29 3 Entwicklungsschwerpunkte 33 3 | ||
| 502 | |a Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1992 | ||
| 650 | 4 | |a Economics | |
| 650 | 4 | |a Business planning | |
| 650 | 4 | |a Economics/Management Science | |
| 650 | 4 | |a Organization/Planning | |
| 650 | 4 | |a Management | |
| 650 | 4 | |a Wirtschaft | |
| 650 | 0 | 7 | |a Reinraumtechnik |0 (DE-588)4177592-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Fertigungsmittel |0 (DE-588)4113544-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aerodynamik |0 (DE-588)4000589-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Reinraumtechnik |0 (DE-588)4177592-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Fertigungsmittel |0 (DE-588)4113544-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Aerodynamik |0 (DE-588)4000589-6 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.1007/978-3-642-47949-6 |x Verlag |3 Volltext |
| 912 | |a ZDB-2-STI |a ZDB-2-BAD | ||
| 940 | 1 | |q ZDB-2-STI_Archive | |
| 940 | 1 | |q ZDB-2-STI_1990/1999 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027867054 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804153115118665728 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Degenhart, Elmar 1959- |
| author_GND | (DE-588)1012802531 |
| author_facet | Degenhart, Elmar 1959- |
| author_role | aut |
| author_sort | Degenhart, Elmar 1959- |
| author_variant | e d ed |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042431723 |
| classification_tum | DAT 000 TEC 000 |
| collection | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD |
| ctrlnum | (OCoLC)863943537 (DE-599)BVBBV042431723 |
| dewey-full | 658.1 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 658 - General management |
| dewey-raw | 658.1 |
| dewey-search | 658.1 |
| dewey-sort | 3658.1 |
| dewey-tens | 650 - Management and auxiliary services |
| discipline | Technik Technik Informatik Wirtschaftswissenschaften |
| doi_str_mv | 10.1007/978-3-642-47949-6 |
| format | Thesis Electronic eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>04133nmm a2200589zcb4500</leader><controlfield tag="001">BV042431723</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20190215 </controlfield><controlfield tag="006">a m||| 00||| </controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">150320s1992 |||| o||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783642479496</subfield><subfield code="c">Online</subfield><subfield code="9">978-3-642-47949-6</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783540554783</subfield><subfield code="c">Print</subfield><subfield code="9">978-3-540-55478-3</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">10.1007/978-3-642-47949-6</subfield><subfield code="2">doi</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)863943537</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042431723</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">aacr</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-860</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">658.1</subfield><subfield code="2">23</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DAT 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">TEC 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Degenhart, Elmar</subfield><subfield code="d">1959-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1012802531</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen</subfield><subfield code="c">von Elmar Degenhart</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin, Heidelberg</subfield><subfield code="b">Springer Berlin Heidelberg</subfield><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource (137S. 72 Abb)</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, und Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart</subfield><subfield code="v">165</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Die Untersuchungen wurden anteilig mit Mitteln des Bundesministeriums für Forschung und Technologie (BMFT), Projektträgerschaft "Halbleiterfertigungsgeräte" gefördert. Mein besonderer Dank gilt dem Leiter des Instituts, Herrn Professor Dr. -Ing. H. -J. Warnecke, für seine großzügige Unterstützung und Förderung, die entscheidend zur erfolgreichen Durchführung dieser Arbeit beigetragen haben. Herrn Professor Dr. -Ing. H. Bach danke ich für die Übernahme des Mitberichtes, für die eingehende Durchsicht und für die wertvollen Hinweise, die sich daraus ergaben. Aus dem großen Kreis der Kollegen am Institut, die mich durch ihre Mitarbeit und anregende Kritik unterstützt haben, möchte ich die Herren Dr. -Ing. J. Geißinger, Dipl. -Ing. J. Schließer, Dr. -Ing. M. Schweizer, P. Baumbusch und Prof. Dr. -Ing. R-D. Schraft besonders erwähnen. Ihnen allen gilt mein herzlicher Dank. Stuttgart, Januar 1992 Elmar Degenhart Inhaltsverzeichnis Abkürzungen und Formelzeichen 13 1 Einleitung 15 1. 1 Problemstellung 15 1. 2 Zielsetzung und Vorgehensweise 16 2 Stand der Technik 17 2. 1 Begriffe und Definitionen 17 2. 1. 1 Reinraumtechnologie 17 2. 1. 2 Reinheitsldassen 17 2. 1. 3 Reinraum 18 2. 2 Ausgangssituation 21 2. 2. 1 Kontaminationsquellen im Reinraum 21 Strömungsverhältnisse im Reinraum 2. 2. 2 23 2. 2. 3 Strömungstechnische Untersuchungsmethoden 24 Quantitative Methoden 2. 2. 3. 1 24 2. 2. 3. 2 Qualitative Methoden der Strömungssichtbarmachung 26 2. 2. 4 Fertigungsgerätetechnik 29 3 Entwicklungsschwerpunkte 33 3</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1992</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Economics</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Business planning</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Economics/Management Science</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Organization/Planning</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Management</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Wirtschaft</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Reinraumtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177592-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Fertigungsmittel</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113544-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aerodynamik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000589-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Reinraumtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177592-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Fertigungsmittel</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113544-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Aerodynamik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000589-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-642-47949-6</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="a">ZDB-2-BAD</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_Archive</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_1990/1999</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027867054</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV042431723 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T01:21:28Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783642479496 9783540554783 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027867054 |
| oclc_num | 863943537 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-860 DE-1046 DE-Aug4 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-634 DE-92 DE-573 DE-706 DE-860 DE-1046 DE-Aug4 |
| physical | 1 Online-Ressource (137S. 72 Abb) |
| psigel | ZDB-2-STI ZDB-2-BAD ZDB-2-STI_Archive ZDB-2-STI_1990/1999 |
| publishDate | 1992 |
| publishDateSearch | 1992 |
| publishDateSort | 1992 |
| publisher | Springer Berlin Heidelberg |
| record_format | marc |
| series2 | IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, und Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart |
| spelling | Degenhart, Elmar 1959- Verfasser (DE-588)1012802531 aut Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen von Elmar Degenhart Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1992 1 Online-Ressource (137S. 72 Abb) txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier IPA-IAO Forschung und Praxis, Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, und Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universität Stuttgart 165 Die vorliegende Arbeit entstand während meiner Tätigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Die Untersuchungen wurden anteilig mit Mitteln des Bundesministeriums für Forschung und Technologie (BMFT), Projektträgerschaft "Halbleiterfertigungsgeräte" gefördert. Mein besonderer Dank gilt dem Leiter des Instituts, Herrn Professor Dr. -Ing. H. -J. Warnecke, für seine großzügige Unterstützung und Förderung, die entscheidend zur erfolgreichen Durchführung dieser Arbeit beigetragen haben. Herrn Professor Dr. -Ing. H. Bach danke ich für die Übernahme des Mitberichtes, für die eingehende Durchsicht und für die wertvollen Hinweise, die sich daraus ergaben. Aus dem großen Kreis der Kollegen am Institut, die mich durch ihre Mitarbeit und anregende Kritik unterstützt haben, möchte ich die Herren Dr. -Ing. J. Geißinger, Dipl. -Ing. J. Schließer, Dr. -Ing. M. Schweizer, P. Baumbusch und Prof. Dr. -Ing. R-D. Schraft besonders erwähnen. Ihnen allen gilt mein herzlicher Dank. Stuttgart, Januar 1992 Elmar Degenhart Inhaltsverzeichnis Abkürzungen und Formelzeichen 13 1 Einleitung 15 1. 1 Problemstellung 15 1. 2 Zielsetzung und Vorgehensweise 16 2 Stand der Technik 17 2. 1 Begriffe und Definitionen 17 2. 1. 1 Reinraumtechnologie 17 2. 1. 2 Reinheitsldassen 17 2. 1. 3 Reinraum 18 2. 2 Ausgangssituation 21 2. 2. 1 Kontaminationsquellen im Reinraum 21 Strömungsverhältnisse im Reinraum 2. 2. 2 23 2. 2. 3 Strömungstechnische Untersuchungsmethoden 24 Quantitative Methoden 2. 2. 3. 1 24 2. 2. 3. 2 Qualitative Methoden der Strömungssichtbarmachung 26 2. 2. 4 Fertigungsgerätetechnik 29 3 Entwicklungsschwerpunkte 33 3 Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1992 Economics Business planning Economics/Management Science Organization/Planning Management Wirtschaft Reinraumtechnik (DE-588)4177592-2 gnd rswk-swf Fertigungsmittel (DE-588)4113544-1 gnd rswk-swf Aerodynamik (DE-588)4000589-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Reinraumtechnik (DE-588)4177592-2 s Fertigungsmittel (DE-588)4113544-1 s Aerodynamik (DE-588)4000589-6 s 1\p DE-604 https://doi.org/10.1007/978-3-642-47949-6 Verlag Volltext 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Degenhart, Elmar 1959- Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen Economics Business planning Economics/Management Science Organization/Planning Management Wirtschaft Reinraumtechnik (DE-588)4177592-2 gnd Fertigungsmittel (DE-588)4113544-1 gnd Aerodynamik (DE-588)4000589-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4177592-2 (DE-588)4113544-1 (DE-588)4000589-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen |
| title_auth | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen |
| title_exact_search | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen |
| title_full | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen von Elmar Degenhart |
| title_fullStr | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen von Elmar Degenhart |
| title_full_unstemmed | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen von Elmar Degenhart |
| title_short | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen |
| title_sort | stromungstechnische auslegung reinraumtauglicher fertigungseinrichtungen |
| topic | Economics Business planning Economics/Management Science Organization/Planning Management Wirtschaft Reinraumtechnik (DE-588)4177592-2 gnd Fertigungsmittel (DE-588)4113544-1 gnd Aerodynamik (DE-588)4000589-6 gnd |
| topic_facet | Economics Business planning Economics/Management Science Organization/Planning Management Wirtschaft Reinraumtechnik Fertigungsmittel Aerodynamik Hochschulschrift |
| url | https://doi.org/10.1007/978-3-642-47949-6 |
| work_keys_str_mv | AT degenhartelmar stromungstechnischeauslegungreinraumtauglicherfertigungseinrichtungen |