APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (2004). Silizium-Halbleitertechnologie (4., durchgesehene und ergänzte Auflage.). Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8

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Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 4., durchgesehene und ergänzte Auflage. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 2004. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8.

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Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie. 4., durchgesehene und ergänzte Auflage. Vieweg+Teubner Verlag, 2004. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94072-8.