Harth, W. (1981). Halbleitertechnologie (2., überarbeitete Auflage.). Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94051-3
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Harth, W. Halbleitertechnologie. 2., überarbeitete Auflage. Wiesbaden: Vieweg+Teubner Verlag, 1981. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94051-3.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Harth, W. Halbleitertechnologie. 2., überarbeitete Auflage. Vieweg+Teubner Verlag, 1981. https://doi.org/10.1007/978-3-322-94051-3.
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