Halbleitertechnologie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wiesbaden
Vieweg+Teubner Verlag
1981
|
| Ausgabe: | 2., überarbeitete Auflage |
| Schriftenreihe: | Teubner Studienskripten Elektrotechnik
54 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Das vorliegende Studienskriptum "Halbleitertechnologie" soll das physikalische, chemische und technische Rüstzeug vermitteln, das bei der Herstellung diskreter und integrierter Halbleiterbauelemente notwendig ist. Das Buch ist aus den Unterlagen zu einer einsemestrigen Vorlesung gleichen Titels entstanden, die für Studierende der Elektrotechnik im 6. Semester, insbesondere der Hochfrequenztechnik, der Elektronik und der Elektrophysik, an der Technischen Universität Braunschweig gehalten wird. Zum Verständnis dieses Skriptums wird vom Leser nur die Kenntnis der elementaren Grundlagen der Halbleiterphysik und der Werkstoffkunde vorausgesetzt. Somit können alle Studierenden der Elektrotechnik und Physik den Inhalt des Buches auch im Selbststudium verstehen. Ausgehend von der Darstellung und Reinigung der Halbleiterausgangsmaterialien und den Methoden der Einkristallherstellung wird insbesondere den verschiedenen für die Bauelementherstellung wichtigen Prozessen, wie beispielsweise Diffusion, Epitaxie, Oberflächenbehandlung und -passivierung, ein breiterer Raum gegeben. Anhand von ausgewählten Fertigungsbeispielen wird schließlich das Zusammenwirken der verschiedenen Verfahrenstechniken bis zum fertigen Bauelement erläutert. Um den Rahmen des Studienskriptums und der Vorlesung nicht zu sprengen, wurde auf tiefergreifende Bezüge der Halbleitertechnologie zur Festkörperphysik verzichtet. (Weiterführende Bücher sind in der Einleitung angegeben.) Besonderer Wert wurde auf eine praxisbezogene Darstellung gelegt. Das Studienskriptum enthält deshalb detaillierte Angaben bezüglich bewahrter Halbleiter-Präparationsmethoden sowie zahlreiche Kurven und Tabellen. 6 An der Vorbereitung der diesem Skriptum zugrunde liegenden Vorlesung haben die Herren Dipl.-Phys. U. Günther und Dipl.-Ing. J. Freyer mitgewirkt. Die kritische Durchsicht des Manuskriptes besorgten die Herren Dipl.-Ing. J. Freyer. Dipl.-Phys. D. Ullrich und cand.-phys. H. Probst |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (135S. 92 Abb) |
| ISBN: | 9783322940513 9783519100546 |
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