Einführung in die Halbleitertechnologie:
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| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wiesbaden
Vieweg+Teubner Verlag
1993
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Beschreibung: | Die Entwicklung der Halbleitertechnologie gehört zweifellos zu den bedeutenden industriellen Errungenschaften des zwanzigsten lahrhunderts. Es ist zu erwarten, daß diese Technologie auch weiterhin den technischen Fortschritt wesentlich mitbestimmen wird. Das Ziel dieses Buches ist es deshalb, einen möglichst breiten Leserkreis mit den Grundlagen der Halbleitertechnologie vertraut zu machen. Die stoffliche Gliederung des Buches erfolgt vorwiegend nach didaktischen Gesichtspunkten. Ausgehend von den Halbleiterwerkstoffen und ihren Eigenschaften werden zunächst die für die Funktionsfähigkeit von Halbleiterbauelementen wesentlichen Kriterien der Materialauswahl erläutert; dabei wird ein breites Spektrum von Halbleiterwerkstoffen (elementare Halbleiter, Verbindungshalbleiter) betrachtet. Bei der Darstellung der Verfahrensschritte der Halbleitertechnologie wird eine Verdeutlichung der Grundprinzipien angestrebt; auf eine detaillierte Beschreibung der Einzelprozesse wird hingegen bewußt verzichtet. In einigen Fällen werden Verfahren behandelt, welche - unabhängig von ihrem gegenwärtigen industriellen Einsatz - für das Verständnis der Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie von Bedeutung sind. Bei der Auswahl der Literaturstellen wurde zusammenfassenden Darstellungen der Vorzug gegeben. Herrn Dipl.-Phys. C. Rose habe ich für die kompetente und gründliche Textverarbeitung zu danken |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource (VI, 264S. 170 Abb) |
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