Feinberg, V. (1997). VLSI Planarization: Methods, Models, Implementation. Springer Netherlands. https://doi.org/10.1007/978-94-011-5740-7
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Feinberg, V. VLSI Planarization: Methods, Models, Implementation. Dordrecht: Springer Netherlands, 1997. https://doi.org/10.1007/978-94-011-5740-7.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Feinberg, V. VLSI Planarization: Methods, Models, Implementation. Springer Netherlands, 1997. https://doi.org/10.1007/978-94-011-5740-7.
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