Scanning electron microscopy: physics of image formation and microanalysis
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Reimer, Ludwig 1928- (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg Springer Berlin Heidelberg 1998
Ausgabe:Second Completely Revised and Updated Edition
Schriftenreihe:Springer Series in Optical Sciences 45
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Beschreibung:Scanning Electron Microscopy provides a description of the physics of electron-probe formation and of electron-specimen interations. The different imaging and analytical modes using secondary and backscattered electrons, electron-beam-induced currents, X-ray and Auger electrons, electron channelling effects, and cathodoluminescence are discussed to evaluate specific contrasts and to obtain quantitative information
Beschreibung:1 Online-Ressource (XIV, 529 p)
ISBN:9783540389675
9783642083723
DOI:10.1007/978-3-540-38967-5

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