Borisenko, V. E. (1997). Rapid Thermal Processing of Semiconductors. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1804-8
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Borisenko, Victor E. Rapid Thermal Processing of Semiconductors. Boston, MA: Springer US, 1997. https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1804-8.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Borisenko, Victor E. Rapid Thermal Processing of Semiconductors. Springer US, 1997. https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1804-8.
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