El-Kareh, B. (1995). Fundamentals of Semiconductor Processing Technology. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-2209-6
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)El-Kareh, Badih. Fundamentals of Semiconductor Processing Technology. Boston, MA: Springer US, 1995. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-2209-6.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)El-Kareh, Badih. Fundamentals of Semiconductor Processing Technology. Springer US, 1995. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-2209-6.
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