Chen, F. F. (2003). Lecture Notes on Principles of Plasma Processing. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0181-7
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Chen, Francis F. Lecture Notes on Principles of Plasma Processing. Boston, MA: Springer US, 2003. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0181-7.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Chen, Francis F. Lecture Notes on Principles of Plasma Processing. Springer US, 2003. https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0181-7.
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