Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Uelvesbüll
Der Andere Verlag
2014
|
| Schriftenreihe: | Beiträge zur Nanoelektronik
13 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | V, 146 S. Ill., graph. Darst., Tab. |
| ISBN: | 9783862474875 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042407996 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20150313 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 150313s2014 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 15N02 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 1064558151 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 9783862474875 |c : Pb. : EUR 25.90 (DE) |9 978-3-86247-487-5 | ||
| 035 | |a (OCoLC)915588980 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1064558151 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-83 | ||
| 082 | 0 | |a 621.3815284 |2 22/ger | |
| 084 | |a ZN 4150 |0 (DE-625)157360: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Weber, Corinna |d 1983- |e Verfasser |0 (DE-588)1023357267 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren |c Corinna Weber |
| 264 | 1 | |a Uelvesbüll |b Der Andere Verlag |c 2014 | |
| 300 | |a V, 146 S. |b Ill., graph. Darst., Tab. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Beiträge zur Nanoelektronik |v 13 | |
| 502 | |a Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2014 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a MOS |0 (DE-588)4130209-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Leistungsbewertung |0 (DE-588)4167271-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Modifizierung |0 (DE-588)4299539-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kontaktwiderstand |0 (DE-588)4165144-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtwiderstand |0 (DE-588)4136136-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünnschichttransistor |0 (DE-588)4150834-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Grenzfläche |0 (DE-588)4021991-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Dünnschichttransistor |0 (DE-588)4150834-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a MOS |0 (DE-588)4130209-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Kontaktwiderstand |0 (DE-588)4165144-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Grenzfläche |0 (DE-588)4021991-4 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Modifizierung |0 (DE-588)4299539-5 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Schichtwiderstand |0 (DE-588)4136136-2 |D s |
| 689 | 0 | 6 | |a Leistungsbewertung |0 (DE-588)4167271-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Beiträge zur Nanoelektronik |v 13 |w (DE-604)BV041398341 |9 13 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027843560&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027843560 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804153067236491264 |
|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS III
SYMBOLVERZEICHNIS V
1 EINLEITUNG 1
2 GRUNDLAGEN DES METALL/HALBLEITER-KONTAKTES 5
2.1 MODELLE ZUM METALL/HALBLEITER-KONTAKT 5
2.2 STROMTRANSPORTE IM METALL/HALBLEITER-KONTAKT 11
3 MATERIALSPEZIFISCHE GRUNDLAGEN 17
3.1 METALLOXID-HALBLEITER 17
3.2 TVANSPORT IN METALLOXID HALBLEITERN 20
3.3 ELEKTRODENMATERIALIEN 27
4 AUFBAU UND FUNKTIONSWEISE EINES DUENNFILMTRANSISTORS 31
5 PROBENPRAEPARATION 37
6 CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN 41
7 STAND DER FORSCHUNG 45
8 EINFLUSS DES TRANSISTORLAYOUTS AUF DIE EIGENSCHAFTEN DER MOTFTS 57
9 EINFLUSS DES ELEKTRODENMATERIALS AUF DIE LEISTUNGSFAEHIGKEIT VON MOTFTS
65
9.1
BOTTOM-CONTACT-ARCHITEKTUR
65
9.2 TBP-CONTACT-ARCHITEKTUR 81
10 POLYMERBASIERTE GRENZFLAECHENMODULATION 91
10.1 CHARAKTERISIERUNG VON OBERFLAECHEN 91
10.2 TOPOGRAPHISCHE CHARAKTERISIERUNG 93
10.3 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG 94
11 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 107
A MASKENLAYOUTS 137
I
HTTP://D-NB.INFO/1064558151
B PROZESSPARAMETER 141
B.L PROBENPRAEPARATION FUER UPS- UND KONTAKTWINKELMESSUNGEN 141
B.2 PROBENPRAEPARATION: 6C-TFT 142
B.3 PROBENPRAEPARATION: TC-TFT 143
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Weber, Corinna 1983- |
| author_GND | (DE-588)1023357267 |
| author_facet | Weber, Corinna 1983- |
| author_role | aut |
| author_sort | Weber, Corinna 1983- |
| author_variant | c w cw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042407996 |
| classification_rvk | ZN 4150 |
| ctrlnum | (OCoLC)915588980 (DE-599)DNB1064558151 |
| dewey-full | 621.3815284 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 621 - Applied physics |
| dewey-raw | 621.3815284 |
| dewey-search | 621.3815284 |
| dewey-sort | 3621.3815284 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02296nam a2200541 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV042407996</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20150313 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">150313s2014 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">15N02</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1064558151</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783862474875</subfield><subfield code="c">: Pb. : EUR 25.90 (DE)</subfield><subfield code="9">978-3-86247-487-5</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)915588980</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1064558151</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.3815284</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4150</subfield><subfield code="0">(DE-625)157360:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Weber, Corinna</subfield><subfield code="d">1983-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1023357267</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren</subfield><subfield code="c">Corinna Weber</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Uelvesbüll</subfield><subfield code="b">Der Andere Verlag</subfield><subfield code="c">2014</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 146 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst., Tab.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Beiträge zur Nanoelektronik</subfield><subfield code="v">13</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2014</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4130209-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Leistungsbewertung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167271-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Modifizierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4299539-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kontaktwiderstand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4165144-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtwiderstand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136136-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichttransistor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150834-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Grenzfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4021991-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Dünnschichttransistor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150834-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">MOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4130209-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Kontaktwiderstand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4165144-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Grenzfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4021991-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Modifizierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4299539-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Schichtwiderstand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136136-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="6"><subfield code="a">Leistungsbewertung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167271-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Beiträge zur Nanoelektronik</subfield><subfield code="v">13</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV041398341</subfield><subfield code="9">13</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027843560&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027843560</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV042407996 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T01:20:43Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783862474875 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027843560 |
| oclc_num | 915588980 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | V, 146 S. Ill., graph. Darst., Tab. |
| publishDate | 2014 |
| publishDateSearch | 2014 |
| publishDateSort | 2014 |
| publisher | Der Andere Verlag |
| record_format | marc |
| series | Beiträge zur Nanoelektronik |
| series2 | Beiträge zur Nanoelektronik |
| spelling | Weber, Corinna 1983- Verfasser (DE-588)1023357267 aut Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren Corinna Weber Uelvesbüll Der Andere Verlag 2014 V, 146 S. Ill., graph. Darst., Tab. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Beiträge zur Nanoelektronik 13 Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2014 MOS (DE-588)4130209-6 gnd rswk-swf Leistungsbewertung (DE-588)4167271-9 gnd rswk-swf Modifizierung (DE-588)4299539-5 gnd rswk-swf Kontaktwiderstand (DE-588)4165144-3 gnd rswk-swf Schichtwiderstand (DE-588)4136136-2 gnd rswk-swf Dünnschichttransistor (DE-588)4150834-8 gnd rswk-swf Grenzfläche (DE-588)4021991-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Dünnschichttransistor (DE-588)4150834-8 s MOS (DE-588)4130209-6 s Kontaktwiderstand (DE-588)4165144-3 s Grenzfläche (DE-588)4021991-4 s Modifizierung (DE-588)4299539-5 s Schichtwiderstand (DE-588)4136136-2 s Leistungsbewertung (DE-588)4167271-9 s DE-604 Beiträge zur Nanoelektronik 13 (DE-604)BV041398341 13 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027843560&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Weber, Corinna 1983- Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren Beiträge zur Nanoelektronik MOS (DE-588)4130209-6 gnd Leistungsbewertung (DE-588)4167271-9 gnd Modifizierung (DE-588)4299539-5 gnd Kontaktwiderstand (DE-588)4165144-3 gnd Schichtwiderstand (DE-588)4136136-2 gnd Dünnschichttransistor (DE-588)4150834-8 gnd Grenzfläche (DE-588)4021991-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4130209-6 (DE-588)4167271-9 (DE-588)4299539-5 (DE-588)4165144-3 (DE-588)4136136-2 (DE-588)4150834-8 (DE-588)4021991-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren |
| title_auth | Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren |
| title_exact_search | Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren |
| title_full | Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren Corinna Weber |
| title_fullStr | Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren Corinna Weber |
| title_full_unstemmed | Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren Corinna Weber |
| title_short | Kontaktoptimierung von flüssigprozessierten Metalloxid-Dünnfilmtransistoren |
| title_sort | kontaktoptimierung von flussigprozessierten metalloxid dunnfilmtransistoren |
| topic | MOS (DE-588)4130209-6 gnd Leistungsbewertung (DE-588)4167271-9 gnd Modifizierung (DE-588)4299539-5 gnd Kontaktwiderstand (DE-588)4165144-3 gnd Schichtwiderstand (DE-588)4136136-2 gnd Dünnschichttransistor (DE-588)4150834-8 gnd Grenzfläche (DE-588)4021991-4 gnd |
| topic_facet | MOS Leistungsbewertung Modifizierung Kontaktwiderstand Schichtwiderstand Dünnschichttransistor Grenzfläche Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=027843560&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV041398341 |
| work_keys_str_mv | AT webercorinna kontaktoptimierungvonflussigprozessiertenmetalloxiddunnfilmtransistoren |