Werner, F. (2014). Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon: Fundamental interface properties and application to solar cells. Shaker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Werner, Florian. Atomic Layer Deposition of Aluminum Oxide on Crystalline Silicon: Fundamental Interface Properties and Application to Solar Cells. Aachen: Shaker, 2014.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Werner, Florian. Atomic Layer Deposition of Aluminum Oxide on Crystalline Silicon: Fundamental Interface Properties and Application to Solar Cells. Shaker, 2014.
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