Powell, R. A. (1999). PVD for microelectronics: Sputter deposition applied to semiconductor manufacturing. Academic Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Powell, Ronald A. PVD for Microelectronics: Sputter Deposition Applied to Semiconductor Manufacturing. San Diego: Academic Press, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Powell, Ronald A. PVD for Microelectronics: Sputter Deposition Applied to Semiconductor Manufacturing. Academic Press, 1999.
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